Produk
LPE jika penyokong EPI ditetapkan
  • LPE jika penyokong EPI ditetapkanLPE jika penyokong EPI ditetapkan

LPE jika penyokong EPI ditetapkan

Susceptor rata dan susceptor tong adalah bentuk utama susceptor epi.VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator Set Susceptor LPE Si Epi terkemuka di China.Kami telah mengkhususkan diri dalam salutan SiC dan salutan TaC selama bertahun-tahun.Kami menawarkan Susceptor LPE Si Epi Set direka khusus untuk wafer LPE PE2061S 4". Tahap padanan bahan grafit dan SiC salutan adalah baik, keseragaman sangat baik, dan hayatnya panjang, yang boleh meningkatkan hasil pertumbuhan lapisan epitaxial semasa proses LPE (Epitaksi Fasa Cecair). Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.

Semikonduktor VeTek ialah pengilang dan pembekal Set Penerima LPE Si EPI profesional China. Dengan kualiti yang baik dan harga yang kompetitif, dialu-alukan untuk melawat kilang kami dan menubuhkan kerjasama jangka panjang dengan kami.


Set Secceptor LPE Si Epi Si Epi Vetek adalah produk berprestasi tinggi yang dibuat dengan menggunakan lapisan silikon karbida yang halus ke permukaan yang sangat disucikangrafit isotropik. Ini dicapai melalui proses pemendapan wap kimia proprietari Vetek semikonduktor (CVD).


Set Si Epi Seceptor LPE Si Epi Vetek adalah reaktor barel pemendapan epitaxial CVD yang direka untuk melaksanakan dengan pasti walaupun dalam keadaan yang mencabar. Lekatan salutan yang luar biasa, penentangan terhadap pengoksidaan suhu tinggi, dan kakisan menjadikannya pilihan yang ideal untuk persekitaran yang keras. Selain itu, profil haba seragam dan corak aliran gas laminar mencegah pencemaran, memastikan pertumbuhan lapisan epitaxial berkualiti tinggi.


Reka bentuk berbentuk tong dari reaktor epitaxial semikonduktor kami mengoptimumkan aliran gas, memastikan haba diedarkan secara merata. Ciri ini berkesan menghalang pencemaran dan penyebaran kekotoran, menjamin pengeluaran lapisan epitaxial berkualiti tinggi pada substrat wafer.


Di Vetek Semiconductor, kami komited untuk menyediakan pelanggan dengan produk berkualiti tinggi dan kos efektif. Set Susceptor LPE Si Epi kami menawarkan harga yang kompetitif sambil mengekalkan ketumpatan yang sangat baik untuk kedua -dua substrat grafit dansalutan silikon karbida. Gabungan ini memastikan perlindungan yang boleh dipercayai dalam persekitaran kerja suhu tinggi dan menghakis.


Data SEM Filem CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC FILM


Sifat fizikal asas salutan CVD SiC:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta Nilai Biasa
Struktur kristal FCC β fasa polikristalin, terutamanya (111) berorientasikan
Ketumpatan salutan CVD SiC 3.21 g/cm³
Kekerasan lapisan SiC 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz bijian 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti haba 640 J·kg-1· K-1
Suhu sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Young 430 gpa 4pt bend, 1300 ℃
Kekonduksian Terma 300W · m-1· K-1
Pengembangan terma (CTE) 4.5 × 10-6K-1


Semikonduktor VeTek Set Reseptor LPE SI EPIKedai Pengeluaran

SiC Graphite substrateLPE SI EPI Susceptor Set testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment

Gambaran keseluruhan rantaian industri epitaksi cip semikonduktor:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Teg Panas: Set Reseptor LPE SI EPI
Hantar Pertanyaan
Maklumat Hubungan
Untuk pertanyaan mengenai Salutan Silikon Karbida, Salutan Tantalum Karbida, Grafit Khas atau senarai harga, sila tinggalkan e-mel anda kepada kami dan kami akan berhubung dalam masa 24 jam.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept