Relau Pengoksidaan dan Resapan

Relau Pengoksidaan dan Resapan digunakan dalam pelbagai bidang seperti peranti semikonduktor, peranti diskret, peranti optoelektronik, peranti elektronik kuasa, sel suria, dan pembuatan litar bersepadu berskala besar. Ia digunakan untuk proses termasuk resapan, pengoksidaan, penyepuhlindapan, pengaloian, dan pensinteran wafer.

VeTek Semiconductor ialah pengeluar terkemuka yang mengkhusus dalam pengeluaran komponen grafit, silikon karbida dan kuarza ketulenan tinggi dalam relau pengoksidaan dan resapan. Kami komited untuk menyediakan komponen relau berkualiti tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan berada di barisan hadapan teknologi salutan permukaan, seperti CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon, dll.

Kelebihan komponen silikon karbida VeTek Semiconductor:

Rintangan suhu tinggi (sehingga 1600 ℃)

Kekonduksian haba yang sangat baik dan kestabilan haba

Rintangan kakisan kimia yang baik

Pekali pengembangan haba yang rendah

Kekuatan dan kekerasan yang tinggi

Hayat perkhidmatan yang panjang

Dalam relau pengoksidaan dan resapan, kerana kehadiran suhu tinggi dan gas menghakis, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan tahan suhu tinggi dan tahan kakisan, antaranya silikon karbida (SiC) adalah pilihan yang biasa digunakan. Berikut ialah komponen silikon karbida biasa yang terdapat dalam relau pengoksidaan dan relau resapan:

Bot Wafer

Bot wafer silikon karbida adalah bekas yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang boleh menahan suhu tinggi dan tidak akan bertindak balas dengan wafer silikon.

Tiub Relau

Tiub relau ialah komponen teras relau resapan, digunakan untuk menampung wafer silikon dan mengawal persekitaran tindak balas. Tiub relau silikon karbida mempunyai prestasi rintangan suhu tinggi dan kakisan yang sangat baik.

Plat sesekat

Digunakan untuk mengawal aliran udara dan pengagihan suhu di dalam relau

Tiub Perlindungan Termokopel

Digunakan untuk melindungi termokopel penyukat suhu daripada sentuhan langsung dengan gas menghakis.

Kayuh julur

Pendayung julur silikon karbida tahan terhadap suhu tinggi dan kakisan, dan digunakan untuk mengangkut bot silikon atau bot kuarza yang membawa wafer silikon ke dalam tiub relau resapan.

Penyuntik Gas

Digunakan untuk memasukkan gas tindak balas ke dalam relau, ia perlu tahan kepada suhu tinggi dan kakisan.

Pengangkut Bot

Pembawa bot wafer silikon karbida digunakan untuk membaiki dan menyokong wafer silikon, yang mempunyai kelebihan seperti kekuatan tinggi, rintangan kakisan, dan kestabilan struktur yang baik.

Pintu Relau

Salutan atau komponen silikon karbida juga boleh digunakan pada bahagian dalam pintu relau.

Elemen Pemanas

Elemen pemanasan silikon karbida sesuai untuk suhu tinggi, kuasa tinggi, dan boleh menaikkan suhu dengan cepat kepada lebih 1000 ℃.

Pelapik SiC

Digunakan untuk melindungi dinding dalaman tiub relau, ia boleh membantu mengurangkan kehilangan tenaga haba dan menahan persekitaran yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.