Perahu wafer seramik karbida silikon

Kelebihan menggunakan bot wafer silikon karbida veteksemi

● Rintangan suhu yang sangat tinggi hingga 3000 F (1650 ℃）

●  Ketahanan kakisan super terhadap  asid, pelarut, garam dan organik, tahan haus  

● Mudah dibersihkan

●  Ketahanan hentaman yang kuat

●  Bebas Tergelincir

Industri pembuatan semikonduktor Vetek biasanya memproses wafer ini dalam pembawa wafer mendatar atau pembawa menegak.

●  Pembawa mendatar, biasanya dipanggil "bot", mempunyai tiga atau empat palang yang dilupuskan secara mendatar yang disusun dalam reka bentuk separuh bulatan, dengan setiap bar mempunyai alur menghadap ke dalam yang ditetapkan di dalamnya pada selang masa yang tetap. Setiap set alur menentukan ruang menegak untuk membawa wafer yang dilupuskan secara menegak.

●  Pembawa menegak, biasanya dipanggil "rak menegak", mempunyai tiga atau empat batang (atau tiang) yang dilupuskan secara menegak yang disusun dalam reka bentuk separuh bulatan, dengan setiap tiang mempunyai slot yang ditetapkan di dalamnya pada selang masa yang tetap untuk menentukan ruang untuk menyokong wafer yang dilupuskan secara mendatar.

Untuk memastikan ketepatan geometri yang diperlukan dalam medan ini, tiga atau empat batang dipasang pada plat atas dan plat bawah. Bahagian tiang antara setiap slot, yang disebut "gigi", dijarakkan secara sama untuk menyokong wafer pada selang masa yang tetap dari dan selari dengan plat bawah. Seluruh rak kemudiannya diletakkan di dalam relau menegak untuk memproses wafer.

Kerana wafer yang diproses pada rak menegak mengalami kurang kecerunan suhu di wajahnya (berbanding dengan wafer yang diproses dalam bot mendatar), pengeluar semikonduktor semakin beralih ke relau menegak. Walau bagaimanapun, terdapat kelemahan untuk perabot menegak. Wafers yang dilupuskan pada rak menegak konvensional disokong di tepi luar mereka sahaja. Oleh itu, kawasan wafer yang terletak pada gigi ini mengalami tekanan yang lebih tinggi daripada wafer yang lain.

Apabila suhu dalam relau melebihi kira-kira 1000°C, tegasan ini sering menjadi ketara dan bahagian wafer kristal tunggal bergerak secara relatif antara satu sama lain di sepanjang plat kristalografi sebagai tindak balas kepada tegasan tersebut. Fenomena ini, yang dipanggil "slip", secara berkesan memusnahkan nilai peranti semikonduktor yang terletak di kawasan wafer di mana gelinciran telah berlaku.

Sebagai pembekal dan pengilang Bot Wafer Seramik Silikon Karbida terkemuka di China, VeTek Semiconductor sentiasa komited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk Wafer Boat untuk industri pemprosesan semikonduktor. Kami amat berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Semikonduktor VeTekSilicon Carbide Ceramic Wafer Boat Production Shops: