Lengan robot karbida silikon

Lengan robot karbida silikon Veteksemicon adalah penyelesaian pemprosesan semikonduktor mewah yang direka khusus untuk persekitaran perindustrian yang keras. Menggunakan teknologi bahan silikon karbida silikon tinggi, ia menunjukkan kestabilan dan ketahanan yang luar biasa dalam suhu tinggi, persekitaran yang menghakis, dan keadaan vakum ultra tinggi. Sebagai komponen utama dalam pengendalian wafer, etsa, dan proses pemendapan, lengan robot kami dengan ketara meningkatkan produktiviti dan mengurangkan kos penyelenggaraan.

Ⅰ. Parameter teknikal

Ⅱ. Veteksemicon silikon karbida robot lengan teras kelebihan

1. Toleransi persekitaran yang melampau

Lengan robot kami menggunakan salutan SIC yang unik yang mengalami pelbagai proses pemendapan suhu tinggi, membolehkannya mengekalkan integriti struktur pada suhu yang berterusan sebanyak 1500 ° C dan dengan berkesan menentang kakisan dari pengeboman plasma dan persekitaran asid dan alkali yang kuat. Ini secara asasnya menangani titik kesakitan bahan -bahan tradisional yang terdedah kepada penuaan dan mempunyai jangka hayat pendek di bawah keadaan kerja yang melampau.

2. Sifat mekanikal yang sangat baik

Dengan mengamalkan struktur komposit substrat grafit dan salutan SIC, kami telah mencapai ketegaran jauh melebihi bahan logam sambil memastikan lengan sangat ringan. Reka bentuk ini memastikan bahawa ubah bentuk lengan robot sangat kecil semasa gerakan reciprocating berkelajuan tinggi, dengan berkesan menindas jitter, dengan itu mengendalikan ketepatan kedudukan berulang dalam ± 0.02mm, memastikan penghantaran wafer ketepatan yang selamat.

3. Kebersihan ultra tinggi

Kami faham bahawa pencemaran partikel adalah pembunuh hasil nombor satu. Oleh itu, setiap lengan robot mengalami penggilap ketepatan dan rawatan permukaan khusus, mengakibatkan kekasaran permukaan RA kurang daripada 0.1μm. Lapisan itu mematuhi dengan selamat, menghalang sebarang risiko mengelupas. Produk kami adalah 100% kebersihan yang diuji, memenuhi keperluan bilik bersih ultra tinggi dan bersedia untuk digunakan dalam barisan pengeluaran yang canggih.

4. Hayat perkhidmatan yang panjang

Terima kasih kepada kekerasan SIC yang wujud 3000 HV dan rintangan haus yang sangat baik, Robot Arms kami mengalami kemerosotan prestasi yang minimum walaupun selepas puluhan ribu kitaran gerakan. Kehidupan perkhidmatan mereka adalah beberapa kali komponen aloi seramik atau aluminium biasa, dengan ketara mengurangkan downtime untuk penggantian dan penyelenggaraan, memberikan keberkesanan kos keseluruhan yang signifikan untuk pelanggan kami.

Ⅲ. Bidang aplikasi utama

Veteksemicon silikon karbida robot lengan 'Pengesahan rantaian ekologi meliputi bahan mentah kepada pengeluaran, telah meluluskan pensijilan standard antarabangsa, dan mempunyai beberapa teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kebolehpercayaan dan kelestariannya dalam bidang semikonduktor dan bidang tenaga baru. Selamat datang untuk berunding dengan kami pada bila -bila masa.