Produk
Cincin Fokus Silicon Carbide
  • Cincin Fokus Silicon CarbideCincin Fokus Silicon Carbide

Cincin Fokus Silicon Carbide

Veteksemicon Focus Ring direka khusus untuk menuntut peralatan etsa semikonduktor, terutamanya aplikasi etching SIC. Dilengkapi di sekitar chuck elektrostatik (ESC), berdekatan dengan wafer, fungsi utamanya adalah untuk mengoptimumkan pengedaran medan elektromagnet dalam ruang tindak balas, memastikan tindakan plasma seragam dan fokus di seluruh permukaan wafer. Cincin tumpuan berprestasi tinggi dengan ketara meningkatkan keseragaman kadar etch dan mengurangkan kesan kelebihan, secara langsung meningkatkan hasil produk dan kecekapan pengeluaran.

Maklumat produk umum

Tempat Asal:
China
Jenama:
Saingan saya
Nombor Model:
SIC Focus Ring-01
Pensijilan:
ISO9001


Syarat Perniagaan Produk

Kuantiti Pesanan Minimum:
Tertakluk kepada rundingan
Harga:
Hubungi sebut harga yang disesuaikan
Butiran pembungkusan:
Pakej eksport standard
Masa Penghantaran:
Masa Penghantaran: 30-45 hari selepas pengesahan pesanan
Terma Pembayaran:
T/t
Kemampuan bekalan:
500Unit/bulan


Permohonan: Dalam proses etsa kering semikonduktor, cincin fokus adalah komponen utama yang memastikan keseragaman proses. Ia dengan ketat mengelilingi wafer dan, dengan tepat mengawal pengedaran plasma di tepi wafer, secara langsung menentukan keseragaman dan konsistensi proses etsa, menjadikannya bahagian yang sangat diperlukan untuk menjamin hasil cip.


Perkhidmatan yang boleh disediakan: Analisis senario aplikasi pelanggan, bahan yang sepadan, penyelesaian masalah teknikal.


Profil Syarikat: Veteksemicon mempunyai 2 makmal, satu pasukan pakar dengan pengalaman material 20 tahun, dengan keupayaan R & D dan pengeluaran, ujian dan pengesahan.


Parameter teknikal

projek
parameter
Bahan utama
Kesucian tinggi sic sic
Bahan pilihan
SIC bersalut boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan
Proses yang berkenaan
Sic etching, Si Etching Deep, Etching Semikonduktor Kompaun Lain
Peranti yang berkenaan
Berkenaan dengan platform peralatan etsa kering arus perdana (model tertentu boleh disesuaikan)
Dimensi utama
Disesuaikan mengikut model peralatan pelanggan dan keperluan lukisan
Kekasaran permukaan
RA ≤ 0.2 μm (boleh diselaraskan mengikut keperluan proses)
Ciri -ciri utama
Rintangan kakisan yang tinggi, kesucian tinggi, kekerasan tinggi, kestabilan terma yang sangat baik, dan pembentukan zarah yang rendah


Kelebihan teras cincin fokus veteksemicon


1. Sains Bahan yang luar biasa, dilahirkan untuk persekitaran yang keras


Bahan karbida silikon berkepadatan tinggi, kepadatan tinggi kami dengan mudah dapat menahan pengeboman plasma yang sengit dan kakisan gas kimia yang mengandungi fluorin semasa proses etsa SIC. Rintangan kakisan yang sangat baik secara langsung diterjemahkan ke dalam hayat perkhidmatan yang lebih lama dan kekerapan penggantian komponen yang lebih rendah, bukan sahaja mengurangkan downtime peralatan tetapi juga mengurangkan risiko pencemaran zarah yang disebabkan oleh memakai komponen, memberikan anda keberkesanan kos jangka panjang dan stabil.


2. Reka bentuk kejuruteraan yang tepat memastikan proses yang konsisten


Setiap cincin fokus veteksemicon mengalami pemesinan CNC ultra-ketepatan untuk memastikan dimensi utama seperti kebosanan, diameter dalaman, dan ketinggian langkah mencapai ketepatan peringkat mikron, memastikan pemadanan sempurna dengan pengeluar peralatan asal (OEM). Pasukan kejuruteraan kami terus mengoptimumkan profil menggunakan simulasi plasma. Reka bentuk ini secara berkesan membimbing medan elektrik, mengurangkan etsa abnormal di tepi wafer dan dengan itu mengawal keseragaman etsa keseluruhan wafer ke tahap yang melampau.


3. Prestasi yang boleh dipercayai meningkatkan kecekapan pengeluaran


Dalam menuntut persekitaran pengeluaran besar -besaran, nilai penuh produk kami direalisasikan. Dengan memastikan pengedaran plasma pekat dan stabil, cincin fokus veteksemicon terus menyumbang kepada keseragaman kadar etsa yang lebih baik dan mengoptimumkan pengulangan proses batch-to-batch. Ini bermakna barisan pengeluaran anda secara konsisten dapat memberikan produk hasil tinggi, sementara juga mendapat manfaat daripada kitaran penyelenggaraan yang lebih lama, dengan berkesan mengurangkan kos yang boleh dibeli setiap wafer dan memberi anda kelebihan daya saing yang signifikan.


4. Pengesahan Pengesahan Rantaian Ekologi


Pengesahan rantaian ekologi Veteksemicon Focus Cincin meliputi bahan mentah kepada pengeluaran, telah meluluskan pensijilan standard antarabangsa, dan mempunyai beberapa teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kebolehpercayaan dan kelestariannya dalam bidang semikonduktor dan tenaga baru.


Untuk spesifikasi teknikal terperinci, kertas putih, atau pengaturan ujian sampel, sila hubungi pasukan sokongan teknikal kami untuk meneroka bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan kecekapan proses anda.


Bidang aplikasi utama

Arah Permohonan
Senario biasa
Pembuatan peranti kuasa sic
GATE dan MESA ETCHING OF MOSFET, SBD, IGBT dan peranti lain.
Peranti RF Gan-on-SIC
Proses etsa untuk frekuensi tinggi, peranti frekuensi radio berkuasa tinggi.
Peranti MEMS Etching dalam
Pemprosesan sistem mikro-elektromekanikal yang mempunyai keperluan yang sangat tinggi mengenai morfologi dan keseragaman etsa.


Kedai Produk Saingan saya

Veteksemicon products shop


Teg Panas: Cincin Fokus Silicon Carbide
Hantar Pertanyaan
Maklumat Hubungan
Untuk pertanyaan mengenai Salutan Silikon Karbida, Salutan Tantalum Karbida, Grafit Khas atau senarai harga, sila tinggalkan e-mel anda kepada kami dan kami akan berhubung dalam masa 24 jam.
X
Kami menggunakan kuki untuk menawarkan anda pengalaman menyemak imbas yang lebih baik, menganalisis trafik tapak dan memperibadikan kandungan. Dengan menggunakan tapak ini, anda bersetuju dengan penggunaan kuki kami. Dasar Privasi
Tolak Terima