Cincin salutan TAC

Cincin Salutan TaC semikonduktor VeTek dibuat daripada grafit berkualiti tinggi dan disalut dengan tantalum karbida (TaC), bahan yang terkenal dengan sifat unggulnya, merupakan komponen yang amat diperlukan dalam pemprosesan wafer semikonduktor.

Ciri-ciri Utama dan Faedah Gelang Salutan TaC semikonduktor VeTek:

●  Kestabilan Terma Tinggi: Salah satu ciri yang menonjol dari cincin salutan karbida Tantalum adalah keupayaannya untuk menahan suhu yang tinggi, faktor kritikal dalam etsa semikonduktor. Proses etsa SIC melibatkan pendedahan kepada suhu tinggi dan gas reaktif, dan salutan karbida tantalum memastikan cincin tetap stabil dan mengekalkan integriti strukturnya walaupun di bawah keadaan yang keras ini. Ketahanan terma ini memastikan bahawa komponen terus melaksanakan secara optimum dalam tempoh yang panjang.

● Kekuatan mekanikal yang dipertingkatkan: Gabungan grafit berkekuatan tinggi dan salutan TaC menghasilkan komponen dengan sifat mekanikal yang dipertingkatkan, menjadikan Cincin Bersalut TaC sangat tahan haus dan lusuh. Kekuatan mekanikalnya adalah penting dalam memegang wafer SiC dengan kukuh pada tempatnya, memastikan goresan yang tepat dan mencegah sebarang ubah bentuk semasa proses.

● Rintangan kakisan kimia: Dalam proses semikonduktor seperti sic etching, komponen sering terdedah kepada bahan kimia yang agresif dan gas reaktif. Salutan karbida Tantalum memberikan perlindungan yang sangat baik terhadap kakisan, dengan ketara memanjangkan hayat berguna cincin dan meminimumkan keperluan untuk penggantian yang kerap. Rintangan ini amat penting dalam proses etsa, di mana komponen sentiasa bersentuhan dengan bahan reaktif kimia.

●  Salutan CoatiTaC yang unggul untuk Prestasi Dipertingkat: Salutan karbida Tantalum pada cincin grafit menyediakan permukaan yang mantap yang meningkatkan prestasi keseluruhan komponen. Tantalum Carbide terkenal dengan titik lebur yang tinggi (kira -kira 3,880 ° C) dan ketahanannya yang sangat baik terhadap tindak balas kimia, terutamanya dalam persekitaran yang agresif yang biasanya ditemui semasa proses pembuatan semikonduktor. Lapisan karbida tantalum ini meningkatkan jangka hayat produk, yang memberikan ketahanan yang lebih baik berbanding dengan cincin grafit yang tidak bersalut.

● Kekuatan mekanikal yang dipertingkatkan: Gabungan grafit berkekuatan tinggi dan salutan TaC menghasilkan komponen dengan sifat mekanikal yang dipertingkatkan, menjadikan Cincin Bersalut TaC sangat tahan haus dan lusuh. Kekuatan mekanikalnya adalah penting dalam memegang wafer SiC dengan kukuh pada tempatnya, memastikan goresan yang tepat dan mencegah sebarang ubah bentuk semasa proses.

Sebagai pembekal cincin salutan TAC terkemuka, pengilang dan kilang di China, Vetek Semiconductor telah lama komited untuk menyediakan produk cincin salutan TAC lanjutan dan penyelesaian teknikal untuk industri pemprosesan semikonduktor, dan menyokong perkhidmatan produk yang disesuaikan. Veteksemi dengan tulus berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Sifat fizikal salutan TAC

Kedai Produk Cincin TAC Salutan Vetek Semikonduktor