Cincin bersalut TAC untuk pertumbuhan pvt kristal tunggal sic

Pada masa ini, peranti kuasa SIC menjadi semakin popular, jadi fabrikasi peranti semikonduktor yang berkaitan lebih penting, dan sifat SIC mesti diperbaiki. SIC adalah substrat dalam semikonduktor. Sebagai bahan mentah yang sangat diperlukan untuk peranti SIC, bagaimana untuk menghasilkan kristal SIC dengan cekap adalah salah satu topik penting. Dalam proses pertumbuhan kristal SIC yang semakin meningkat oleh kaedah PVT (pengangkutan wap fizikal), cincin bersalut TAC Vetek semikonduktor untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SIC memainkan peranan yang sangat penting dan penting. Selepas reka bentuk dan pembuatan yang teliti, cincin bersalut TAC ini memberikan anda prestasi dan kebolehpercayaan yang sangat baik, memastikan kecekapan dan kestabilanPertumbuhan kristal sicproses.

Lapisan Tantalum Carbide (TAC) telah mendapat perhatian kerana titik lebur yang tinggi sehingga 3880 ° C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan penentangan terhadap kejutan terma, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaxy semikonduktor kompaun dengan proses yang lebih tinggi.

Cincin bersalut TACCiri -ciri produk

(I) ikatan bahan salutan TAC berkualiti tinggi dengan bahan grafit

Cincin bersalut TAC untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SIC menggunakan bahan grafit SGL berkualiti tinggi sebagai substrat, ia mempunyai kekonduksian terma yang baik dan kestabilan bahan yang sangat tinggi. Salutan TAC CVD menyediakan permukaan yang tidak berliang. Pada masa yang sama, TAC CVD TAC (Tantalum Carbide) yang tinggi digunakan sebagai bahan salutan, yang mempunyai kekerasan yang sangat tinggi, titik lebur dan kestabilan kimia. Salutan TAC dapat mengekalkan prestasi yang sangat baik dalam suhu tinggi (biasanya sehingga 2000 ℃ atau lebih) dan persekitaran yang sangat menghakis pertumbuhan kristal SIC oleh kaedah PVT, dengan berkesan menentang tindak balas kimia dan hakisan fizikal semasaPertumbuhan sic, sangat memanjangkan hayat perkhidmatan cincin salutan, dan mengurangkan kos penyelenggaraan peralatan dan downtime.

10 μm 300 μm

Salutan TACdengan kristal yang tinggi dan keseragaman yang sangat baik

(Ii) proses salutan yang tepat

Teknologi Proses Salutan CVD Advanced Vetek Semiconductor memastikan bahawa salutan TAC sama rata dan padat dilindungi di permukaan cincin. Ketebalan salutan boleh dikawal dengan tepat pada ± 5UM, memastikan pengedaran seragam medan suhu dan medan aliran udara semasa proses pertumbuhan kristal, yang kondusif kepada pertumbuhan berkualiti tinggi dan saiz besar kristal SIC.

Ketebalan salutan umum adalah 35 ± 5um, juga kita boleh menyesuaikannya mengikut keperluan anda.

(Iii) Kestabilan suhu tinggi yang sangat baik dan rintangan kejutan terma

Dalam persekitaran suhu tinggi kaedah PVT, cincin bersalut TAC untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SIC menunjukkan kestabilan terma yang sangat baik.

Rintangan kepada H2, NH3, SIH4, SI

Kesucian ultra tinggi untuk mencegah pencemaran proses

Rintangan tinggi terhadap kejutan haba untuk kitaran operasi yang lebih cepat

Ia boleh menahan baking suhu tinggi jangka panjang tanpa ubah bentuk, retak atau penumpahan salutan. Semasa pertumbuhan kristal SIC, suhu sering berubah. Cincin bersalut TAC Vetek Semiconductor untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SIC mempunyai rintangan kejutan terma yang sangat baik dan dengan cepat dapat menyesuaikan diri dengan perubahan pesat dalam suhu tanpa retak atau kerosakan. Selanjutnya meningkatkan kecekapan pengeluaran dan kualiti produk.

Vetek Semiconductor menyedari bahawa pelanggan yang berbeza mempunyai peralatan dan proses pertumbuhan kristal PVT SIC yang berbeza, jadi ia menyediakan perkhidmatan yang disesuaikan untuk cincin bersalut TAC untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SIC. Sama ada spesifikasi saiz badan cincin, ketebalan salutan atau keperluan prestasi khas, kami boleh menyesuaikannya mengikut keperluan anda untuk memastikan produk itu sesuai dengan peralatan dan proses anda, memberikan anda penyelesaian yang paling dioptimumkan.

Sifat fizikal salutan TAC

Ia semikonduktorCincin bersalut TAC Kedai Pengeluaran