Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Produk

Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.


Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.


Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:


Excellent properties of TaC coating graphite


Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.


Ciri-ciri Utama:

 ●Kestabilan suhu

 ●Ketulenan ultra tinggi

 ●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si

 ●Rintangan kepada stok haba

 ●Lekatan yang kuat pada grafit

 ●Liputan salutan selaras

 ● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Suseptor pemanasan induktif

 ● Elemen pemanasan rintangan

 ●Cakera satelit

 ●Kepala pancuran

 ●Cincin pemandu

 ●Penerima Epi LED

 ●Muncung suntikan

 ●Cincin bertopeng

 ● Perisai haba


Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan 14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus 0.3
Pekali pengembangan terma 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000 HK
Rintangan 1×10-5Ohm*cm
Kestabilan terma <2500 ℃
Perubahan saiz grafit -10~-20um
Ketebalan salutan ≥20um nilai biasa (35um±10um)


Data EDX salutan TaC：

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur Peratus atom
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Purata
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Cincin bersalut karbida Tantalum

Cincin bersalut karbida Tantalum

Sebagai inovator profesional dan pemimpin produk cincin bersalut Tantalum Carbide di China, Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Ring memainkan peranan yang tidak dapat digantikan dalam pertumbuhan kristal SIC dengan rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan haus dan kekonduksian terma yang sangat baik. Selamat datang perundingan lanjut anda.
Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>
Karbida Tantalum Porous

Karbida Tantalum Porous

Vetek Semiconductor adalah pengeluar profesional dan pemimpin produk Tantalum Carbide berliang di China. Karbida Tantalum Porous biasanya dihasilkan oleh kaedah pemendapan wap kimia (CVD), memastikan kawalan tepat saiz dan pengedarannya, dan merupakan alat bahan yang didedikasikan untuk persekitaran yang melampau suhu tinggi. Selamat datang perundingan lanjut anda.
Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>
Cincin panduan salutan TAC

Cincin panduan salutan TAC

Cincin Panduan Salutan TaC Semikonduktor VeTek dicipta dengan menggunakan salutan tantalum karbida pada bahagian grafit menggunakan teknik canggih yang dipanggil pemendapan wap kimia (CVD). Kaedah ini sudah mantap dan menawarkan sifat salutan yang luar biasa. Dengan menggunakan Cincin Panduan Salutan TaC, jangka hayat komponen grafit boleh dilanjutkan dengan ketara, pergerakan bendasing grafit boleh ditindas, dan kualiti kristal tunggal SiC dan AIN boleh dikekalkan dengan pasti. Selamat datang untuk menyiasat kami.
Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>
Cincin karbida Tantalum

Cincin karbida Tantalum

Sebagai pengeluar dan pengeluar produk cincin karbida Tantalum di China, Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Ring mempunyai kekerasan yang sangat tinggi, rintangan haus, rintangan suhu tinggi dan kestabilan kimia, dan digunakan secara meluas dalam bidang pembuatan semikonduktor. Terutama dalam CVD, PVD, proses implantasi ion, proses etsa, dan pemprosesan dan pengangkutan wafer, ia adalah produk yang sangat diperlukan untuk pemprosesan dan pembuatan semikonduktor. Nantikan perundingan lanjut anda.
Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>
Sokongan salutan karbida Tantalum

Sokongan salutan karbida Tantalum

Sebagai pengeluar produk dan kilang sokongan Tantalum Carbide Carbide Professional di China, Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Sokongan biasanya digunakan untuk salutan permukaan komponen struktur atau komponen sokongan dalam peralatan semikonduktor, terutamanya untuk perlindungan permukaan komponen peralatan utama dalam proses pembuatan semikonduktor seperti CVD dan PVD. Selamat datang perundingan lanjut anda.
Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>
Cincin Panduan Tantalum Carbide

Cincin Panduan Tantalum Carbide

Vetek Semiconductor adalah pengeluar profesional dan pemimpin produk cincin Panduan Tantalum Carbide di China. Cincin panduan Tantalum Carbide (TAC) kami adalah komponen cincin berprestasi tinggi yang diperbuat daripada karbida tantalum, yang biasanya digunakan dalam peralatan pemprosesan semikonduktor, terutamanya dalam persekitaran suhu tinggi dan sangat menghakis seperti CVD, PVD, etching dan penyebaran. Vetek Semiconductor komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk canggih untuk industri semikonduktor, dan mengalu -alukan pertanyaan lanjut anda.
Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Tantalum Carbide di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
Cadangan Berita
Apakah perbezaan antara aplikasi silikon karbida dan galium nitrida (GAN)? - Vetek Semiconductor
Apakah perbezaan antara aplikasi silikon karbida dan galium nitrida (GAN)? - Vetek SemiconductorLihat Lagi >>
Wafer substrat semikonduktor: Sifat bahan silikon, GaAs, SiC dan GaN
Wafer substrat semikonduktor: Sifat bahan silikon, GaAs, SiC dan GaNLihat Lagi >>
Apakah proses epitaxy semikonduktor?
Apakah proses epitaxy semikonduktor?Lihat Lagi >>
Reka bentuk medan haba untuk pertumbuhan kristal tunggal SIC
Reka bentuk medan haba untuk pertumbuhan kristal tunggal SICLihat Lagi >>
Apakah proses epitaxial?
Apakah proses epitaxial?Lihat Lagi >>
Silicon nanomaterials karbida
Silicon nanomaterials karbidaLihat Lagi >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept