Cincin bersalut TAC

Veteksemi TAC Coated Ring adalah komponen prestasi tinggi yang disesuaikan untuk proses pembuatan semikonduktor. Lapisan Tantalum Carbide (TAC) yang direka bentuk secara unik memberikan produk rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan dan kestabilan mekanikal, dengan ketara meningkatkan hayat perkhidmatan dan kebolehpercayaan komponen grafit dalam peralatan semikonduktor.

Prestasi unggul salutan karbida Tantalum ：

● Rintangan suhu ultra tinggi: Salutan TAC dengan mudah dapat menahan suhu yang melampau sehingga 2200 ° C dan kekal stabil di bawah persekitaran kejutan haba yang biasa dalam pembuatan semikonduktor.

● Kestabilan kimia yang sangat baik: Salutan menunjukkan rintangan yang kuat terhadap gas menghakis biasa seperti hidrogen, ammonia, silane dan silikon, dengan berkesan melindungi substrat dari serangan kimia.

● Ciri -ciri mekanikal yang sangat baik: Salutan TAC mempunyai kekerasan yang tinggi, rintangan haus yang tinggi dan rintangan kejutan terma yang baik, dan boleh beroperasi dengan stabil untuk masa yang lama di bawah keadaan kerja yang keras.

● Lekatan yang sangat baik: Lapisan ini terikat dengan ketat kepada substrat grafit, dengan berkesan menghalang salutan daripada mengelupas dan memastikan prestasi yang konsisten sepanjang hayat perkhidmatan produk.

● Kesucian Tinggi: Salutan TAC yang disediakan oleh CVD mempunyai kesucian yang sangat tinggi, yang meminimumkan pengenalan kekotoran dan menyediakan persekitaran proses yang bersih untuk pembuatan semikonduktor.

Kelebihan cincin bersalut karbida Tantalum:

● Hayat peralatan lanjutan: Salutan TAC dengan berkesan menghalang tindak balas kimia dan penyebaran kekotoran, dengan ketara memanjangkan hayat perkhidmatan komponen grafit dan mengurangkan kos penyelenggaraan.

● Meningkatkan kecekapan pengeluaran: Rintangan suhu tinggi produk dan rintangan kakisan membolehkannya beroperasi di bawah keadaan yang lebih menuntut, memendekkan kitaran pengeluaran dan meningkatkan kapasiti pengeluaran.

● Kualiti produk yang lebih baik: Salutan TAC kemurnian tinggi membantu mengurangkan pencemaran, memastikan kualiti dan konsistensi produk semikonduktor.

Vetek Semiconductor telah khusus dalam produk salutan TAC sepertiTAC Coating Chuck, Plat putaran salutan TAC, Subser salutan TAC, TAC Coated Wafer Susceptorselama bertahun -tahun. Produk cincin bersalut TAC kami mempunyai fungsi kehidupan peralatan lanjutan, kecekapan pengeluaran yang lebih baik dan kualiti produk yang lebih baik. Pada masa yang sama, Vetek Semiconductor telah lama komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk canggih untuk industri semikonduktor. 

Oleh kerana sifat -sifat kimia bahan grafit dan bahan karbida tantalum, pekali pengembangan haba tidak sepadan, dan mudah dipanaskan pada suhu tinggi oleh vetek semikonduktor melalui proses tertentu untuk mempromosikan pembentukan salutan karbida tantalum sebahagiannya disimpan di permukaan. Dengan cara ini, salutan karbida tantalum bersarang dengan ketat dalam matriks grafit melalui pertumbuhan dalam-situ, yang dengan ketara meningkatkan daya mengikat antara salutan dan matriks dan berkesan menghalang pengupasan salutan karbida tantalum. Kami berharap dapat menjadi pasangan jangka panjang anda di China.

Kedai cincin bersalut karbida Tantalum: