Subser salutan TAC

TAC STOUCED SUSCEPTOR dan VETEK SELEPASTAC bersalutcincinBekerjasama dalam reaktor pertumbuhan epitaxial silikon karbida LPE:

● Rintangan suhu tinggi: TheSalutan TACSUSCEPTOR mempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik, dapat menahan suhu melampau sehingga 1500 ° C diReaktor LPE. Ini memastikan peralatan dan komponen tidak berubah atau rosak semasa operasi jangka panjang.

● Kestabilan kimia: Salceptor Coating TAC melakukan sangat baik dalam persekitaran pertumbuhan karbida silikon yang menghakis, dengan berkesan melindungi komponen reaktor dari serangan kimia yang menghakis, dengan itu memanjangkan hayat perkhidmatan mereka.

● Kestabilan terma: Salceptor salutan TAC mempunyai kestabilan terma yang baik, mengekalkan morfologi permukaan dan kekasaran untuk memastikan keseragaman medan suhu dalam reaktor, yang memberi manfaat kepada pertumbuhan tinggi lapisan epitaxial karbida silikon.

● Anti-pencemaran: Permukaan bersalut TAC yang lancar dan prestasi TPD yang lebih tinggi (suhu yang diprogramkan suhu) dapat meminimumkan pengumpulan dan penjerapan zarah dan kekotoran di dalam reaktor, menghalang pencemaran lapisan epitaxial.

Secara ringkasnya, Susceptor dan Ring bersalut TAC memainkan peranan pelindung kritikal dalam reaktor pertumbuhan epitaxial silikon karbida LPE, memastikan operasi stabil jangka panjang peralatan dan pertumbuhan berkualiti tinggi lapisan epitaxial.