Cincin panduan grafit bersalut TAC

Cincin panduan grafit bersalut TAC (Tantalum Carbide) adalah komponen kritikal yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor, khususnya dalam proses seperti pemendapan epitaxial dan etsa plasma. Cincin ini direka untuk memegang dan meletakkan wafer silikon dengan selamat, memastikan penjajaran dan kestabilan yang tepat semasa persekitaran kimia yang tinggi dan keras. Cincin panduan kami direkayasa untuk memenuhi tuntutan ketat fabrikasi semikonduktor moden, membantu meningkatkan hasil proses dan kualiti wafer.

Komposisi bahan dan sifat fizikal

Inti cincin panduan grafit bersalut TAC kami adalah cincin grafit kemuliaan tinggi, yang kemudiannya disalut dengan lapisan Tantalum Carbide (TAC).

Substrat grafit:

Grafit menyediakan beberapa kelebihan utama. Ia mempunyai kestabilan terma yang sangat baik, menentang ubah bentuk pada suhu tinggi yang biasa dalam pemprosesan semikonduktor. Sifat ringannya meminimumkan jisim haba, yang membolehkan pemanasan cepat dan kitaran penyejukan. Grafit kemelut tinggi juga menghalang pencemaran ruang proses.

Salutan CVD TAC:

Lapisan Tantalum Carbide adalah kunci kepada prestasi unggul cincin. TAC adalah bahan seramik yang sangat keras, menawarkan rintangan haus yang luar biasa dan inertness kimia. Ia melindungi grafit yang mendasari dari plasma yang agresif dan gas menghakis, dengan ketara memanjangkan jangka hayat cincin. Lapisan ini juga menghalang zarah dari penumpahan, yang penting untuk mengekalkan persekitaran proses yang bersih dan mencegah kecacatan pada permukaan wafer.

Peranan cincin panduan dalam pemprosesan wafer

Cincin panduan bersalut TAC kami memainkan peranan penting dalam memastikan kualiti dan kecekapan fabrikasi semikonduktor.

● Penjajaran dan kestabilan wafer: Semasa pertumbuhan epitaxial atau etsa, cincin panduan memegang wafer dalam kedudukan yang tepat. Ini menghalang wafer dari peralihan, yang penting untuk pemendapan lapisan seragam dan pemindahan corak yang tepat di seluruh permukaan wafer.

● Pengurusan terma: Ciri -ciri terma salutan grafit dan tantalum karbida membolehkan pengagihan dan pengurusan haba yang cekap. Ini penting untuk mengekalkan profil suhu seragam di seluruh wafer, yang diperlukan untuk ketebalan filem dan sifat bahan yang konsisten.

● Kawalan pencemaran: Bahan-bahan kemelut tinggi dan salutan TAC tahan lama meminimumkan generasi zarah dan luar. Ini mengurangkan risiko pencemaran wafer dan kecacatan, yang membawa kepada hasil dan kebolehpercayaan peranti yang lebih tinggi.

● Jangka hayat komponen yang dilanjutkan: Salutan Tantalum Carbide yang mantap memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap hakisan plasma dan serangan kimia. Ini memanjangkan hayat operasi cincin panduan, mengurangkan downtime penyelenggaraan dan menurunkan jumlah kos pemilikan.