Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.

Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.

Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:

Excellent properties of TaC coating graphite

Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.

Ciri-ciri Utama:

●Kestabilan suhu

●Ketulenan ultra tinggi

●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si

●Rintangan kepada stok haba

●Lekatan yang kuat pada grafit

●Liputan salutan selaras

● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Suseptor pemanasan induktif

● Elemen pemanasan rintangan

●Cakera satelit

●Kepala pancuran

●Cincin pemandu

●Penerima Epi LED

●Muncung suntikan

●Cincin bertopeng

● Perisai haba

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus	0.3
Pekali pengembangan terma	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Rintangan	1×10^-5Ohm*cm
Kestabilan terma	<2500 ℃
Perubahan saiz grafit	-10~-20um
Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)

Data EDX salutan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur	Peratus atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Purata
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Salutan TaC Cakera Planetary Salutan TaC
Plat Bersalut TaC Plat Putaran Salutan TaC Penerima salutan TaC Penutup salutan CVD TaC Cincin Salutan CVD TaC Plat Salutan TaC

View as

Plat putaran salutan TAC

Plat putaran salutan TAC yang dihasilkan oleh Vetek Semiconductor menawarkan salutan TAC yang luar biasa, dengan salutan TAC yang luar biasa, plat putaran TAC salutan mempunyai rintangan suhu tinggi dan ketahanan kimia yang luar biasa, yang membezakannya daripada penyelesaian tradisional.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Plat salutan TAC

Direka dengan ketepatan dan direkayasa untuk kesempurnaan, plat salutan TAC Vetek semikonduktor khusus disesuaikan untuk pelbagai aplikasi dalam proses pertumbuhan kristal silikon karbida. Prestasi yang boleh dipercayai dan salutan berkualiti tinggi menyumbang kepada hasil yang konsisten dan seragam dalam aplikasi pertumbuhan kristal SIC. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Penutup salutan CVD TAC

Perlindungan salutan CVD TAC yang disediakan oleh Vetek Semiconductor adalah komponen yang sangat khusus yang direka khusus untuk menuntut aplikasi. Dengan ciri -ciri canggihnya dan prestasi yang luar biasa, penutup salutan CVD TAC kami menawarkan beberapa kelebihan utama. CVD TAC Coating Cover menyediakan perlindungan dan prestasi yang diperlukan untuk kejayaan. Kami tidak sabar untuk meneroka potensi kerjasama dengan anda!

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Salutan TAC Salceptor Planet

Salutan TAC Planet Planet adalah produk yang luar biasa untuk peralatan epitaxy Aixtron. Salutan TAC Vetek Semiconductor menyediakan rintangan suhu tinggi yang sangat baik dan inertness kimia. Gabungan unik ini memastikan prestasi yang boleh dipercayai dan hayat perkhidmatan yang panjang, walaupun dalam persekitaran yang menuntut. Vetek komited untuk menyediakan produk berkualiti tinggi dan berkhidmat sebagai rakan kongsi jangka panjang di pasaran China dengan harga yang kompetitif.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Plat sokongan alas TAC Coating

Salutan TAC boleh menahan suhu tinggi 2200 ℃. Vetek Semiconductor menyediakan salutan TAC kemurnian yang tinggi dengan kekotoran di bawah 5ppm di China. Plat sokongan alas TAC dapat menahan ammonia hidrogen, argonin dalam ruang reaksi peranti epitaxial. Ia meningkatkan hayat perkhidmatan produk. Anda menyediakan keperluan, kami menyediakan penyesuaian.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

TAC Coating Chuck

Salutan TAC Vetek Semiconductor mempunyai salutan yang berkualiti tinggi, yang dikenali dengan rintangan suhu tinggi yang luar biasa dan inertness kimia, terutamanya dalam proses epitaxy (EPI) silikon karbida (SIC). Dengan ciri-ciri yang luar biasa dan prestasi unggul, salutan TAC kami Chuck menawarkan beberapa kelebihan utama. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Tantalum Carbide di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Wilayah Zhejiang, China

Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Salutan Tantalum Carbide

Ciri-ciri Utama:

Aplikasi:

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Data EDX salutan TaC：

Data struktur kristal lapisan TaC:

Plat putaran salutan TAC

Plat salutan TAC

Penutup salutan CVD TAC

Salutan TAC Salceptor Planet

Plat sokongan alas TAC Coating

TAC Coating Chuck

Hantar Pertanyaan

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon

Faks

E-mel

Alamat