Produk

Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.


Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.


Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:


Excellent properties of TaC coating graphite


Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.


Ciri-ciri Utama:

 ●Kestabilan suhu

 ●Ketulenan ultra tinggi

 ●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si

 ●Rintangan kepada stok haba

 ●Lekatan yang kuat pada grafit

 ●Liputan salutan selaras

 Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Suseptor pemanasan induktif

 ● Elemen pemanasan rintangan

 ●Cakera satelit

 ●Kepala pancuran

 ●Cincin pemandu

 ●Penerima Epi LED

 ●Muncung suntikan

 ●Cincin bertopeng

 ● Perisai haba


Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan 14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus 0.3
Pekali pengembangan terma 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000 HK
Rintangan 1×10-5Ohm*cm
Kestabilan terma <2500 ℃
Perubahan saiz grafit -10~-20um
Ketebalan salutan ≥20um nilai biasa (35um±10um)


Data EDX salutan TaC

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur Peratus atom
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Purata
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Cincin Tiga Kelopak Bersalut TaC

Cincin Tiga Kelopak Bersalut TaC

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator Cincin Tiga kelopak Bersalut TaC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam lapisan TaC dan SiC selama bertahun-tahun. Produk kami mempunyai rintangan kakisan, kekuatan tinggi. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China. Selamat datang untuk berunding pada bila-bila masa.
Chuck bersalut karbida Tantalum

Chuck bersalut karbida Tantalum

Vetek Semiconductor adalah pengeluar dan inovator Chuck yang terkemuka di China.
Penutup bersalut karbida Tantalum

Penutup bersalut karbida Tantalum

Vetek Semiconductor adalah pengeluar dan inovator penutup bersalut Tantalum Carbide terkemuka di China. Kami telah khusus dalam salutan TAC dan SIC selama bertahun -tahun. Produk -produk kami mempunyai rintangan kakisan, kekuatan tinggi. Kami berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China. Selamat datang untuk berunding pada bila-bila masa.
Grafit berpori dengan TAC bersalut

Grafit berpori dengan TAC bersalut

Grafit poros dengan TAC bersalut adalah bahan pemprosesan semikonduktor canggih yang disediakan oleh Vetek Semiconductor. Grafit berpori dengan bersalut TAC menggabungkan kelebihan grafit poros dan salutan Tantalum Carbide (TAC), dengan kekonduksian terma yang baik dan kebolehtelapan gas. Vetek Semiconductor komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif.
Penutup salutan karbida Tantalum

Penutup salutan karbida Tantalum

Salutan salutan karbida Tantalum terdiri daripada grafit kemelut tinggi dan salutan TAC. Vetek Semiconductor adalah pembekal terkemuka dan pengilang penutup salutan karbida Tantalum di China. Kami memberi tumpuan kepada menyediakan produk Tantalum Carbide yang tahan tinggi, suhu tinggi. Perlindungan bersalut karbida Tantalum kami mempunyai prestasi dan kebolehpercayaan yang sangat baik, dan dapat melindungi bahan -bahan secara berkesan dalam persekitaran yang sangat tinggi dan persekitaran yang menghakis. Kami berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China. Selamat datang untuk berunding pada bila -bila masa.
Cincin deflector bersalut TAC

Cincin deflector bersalut TAC

Cincin deflektor bersalut TAC Vetek Semiconductor adalah komponen yang sangat khusus yang direka untuk proses pertumbuhan kristal SIC. Lapisan TAC menyediakan rintangan suhu tinggi yang sangat baik dan inertness kimia untuk mengatasi suhu tinggi dan persekitaran yang menghakis semasa proses pertumbuhan kristal. Ini memastikan prestasi yang stabil dan jangka hayat komponen, mengurangkan kekerapan penggantian dan downtime. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China. Diharapkan untuk berunding pada bila-bila masa.
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Tantalum Carbide di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept