Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.

Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.

Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:

Excellent properties of TaC coating graphite

Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.

Ciri-ciri Utama:

●Kestabilan suhu

●Ketulenan ultra tinggi

●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si

●Rintangan kepada stok haba

●Lekatan yang kuat pada grafit

●Liputan salutan selaras

● Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Suseptor pemanasan induktif

● Elemen pemanasan rintangan

●Cakera satelit

●Kepala pancuran

●Cincin pemandu

●Penerima Epi LED

●Muncung suntikan

●Cincin bertopeng

● Perisai haba

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus	0.3
Pekali pengembangan terma	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Rintangan	1×10^-5Ohm*cm
Kestabilan terma	<2500 ℃
Perubahan saiz grafit	-10~-20um
Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)

Data EDX salutan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur	Peratus atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Purata
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Salutan TaC Cakera Planetary Salutan TaC
Plat Bersalut TaC Plat Putaran Salutan TaC Penerima salutan TaC Penutup salutan CVD TaC Cincin Salutan CVD TaC Plat Salutan TaC

View as

Tiub bersalut karbida Tantalum untuk pertumbuhan kristal

Tiub bersalut karbida Tantalum untuk pertumbuhan kristal terutamanya digunakan dalam proses pertumbuhan kristal SIC. Vetek Semiconductor telah membekalkan tiub bersalut tantalum karbida untuk pertumbuhan kristal selama bertahun -tahun dan telah bekerja di bidang salutan TAC selama bertahun -tahun. Produk kami mempunyai kesucian yang tinggi dan rintangan suhu tinggi. Kami berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China. Jangan ragu untuk bertanya kepada kami.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Cincin Bersalut TaC untuk Reaktor Epitaxial SiC

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator teknologi terkemuka bagi Cincin Bersalut TaC untuk Reaktor Epitaxial SiC di China, memfokuskan pada penyediaan penyelesaian berprestasi tinggi untuk reaktor epitaxial SiC. Kami mempunyai pengalaman bertahun-tahun dalam teknologi salutan TaC. Cincin Bersalut TaC mempunyai ciri-ciri ketulenan tinggi, kestabilan tinggi, rintangan kakisan yang sangat baik, dsb., dan boleh memberikan prestasi stabil jangka panjang dalam persekitaran kerja keras reaktor epitaxial. Kami berharap dapat mewujudkan perkongsian strategik jangka panjang dengan anda.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Bahagian Halfmoon Bersalut Tantalum Carbide untuk LPE

VeTek Semiconductor ialah pembekal utama Bahagian Halfmoon Coated Tantalum Carbide untuk LPE di China, memfokuskan pada teknologi salutan TaC selama bertahun-tahun. Bahagian Halfmoon Bersalut Tantalum Carbide kami untuk LPE direka untuk proses epitaksi fasa cecair dan boleh menahan suhu tinggi melebihi 2000 darjah Celsius. Dengan prestasi bahan yang sangat baik dan inovasi proses, hayat produk kami berada pada tahap terkemuka dalam industri. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Cincin panduan bersalut TAC

Cincin panduan bersalut TAC diperbuat daripada grafit berkualiti tinggi dan salutan TAC. Dalam penyediaan kristal SIC oleh kaedah PVT, cincin panduan bersalut TAC Vetek semikonduktor terutamanya digunakan untuk membimbing dan mengawal aliran udara, mengoptimumkan proses pertumbuhan kristal tunggal, dan meningkatkan hasil kristal tunggal. Dengan teknologi salutan TAC yang sangat baik, produk kami mempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan dan sifat mekanik yang baik.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Cakera Putaran Planet Bersalut Tantalum Carbide

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal terkemuka Cakera Putaran Planet Bersalut Tantalum Carbide di China, memfokuskan pada teknologi salutan TaC selama bertahun-tahun. Produk kami mempunyai ketulenan tinggi dan rintangan suhu tinggi yang sangat baik, yang diiktiraf secara meluas oleh pengeluar semikonduktor. VeTek Semikonduktor Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk telah menjadi tulang belakang industri epitaksi wafer. Kami berharap dapat mewujudkan perkongsian jangka panjang dengan anda untuk bersama-sama mempromosikan kemajuan teknologi dan pengoptimuman pengeluaran.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Pembawa Wafer Grafit Bersalut TaC

VeTek Semiconductor telah mereka bentuk TaC Coated Graphite Wafer Carrier dengan teliti untuk pelanggan. Ia terdiri daripada grafit ketulenan tinggi dan salutan TaC, yang sesuai untuk pelbagai pemprosesan wafer epitaxial wafer. Kami telah pakar dalam lapisan SiC dan TaC selama bertahun-tahun. Berbanding dengan salutan SiC, pembawa wafer grafit bersalut TaC kami mempunyai rintangan suhu dan tahan haus yang lebih tinggi. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Lihat Lagi >> Hantar Pertanyaan >>

Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Tantalum Carbide di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-mel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, Wilayah Zhejiang, China

Menu Web

Carian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Salutan Tantalum Carbide

Ciri-ciri Utama:

Aplikasi:

Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Data EDX salutan TaC：

Data struktur kristal lapisan TaC:

Tiub bersalut karbida Tantalum untuk pertumbuhan kristal

Cincin Bersalut TaC untuk Reaktor Epitaxial SiC

Bahagian Halfmoon Bersalut Tantalum Carbide untuk LPE

Cincin panduan bersalut TAC

Cakera Putaran Planet Bersalut Tantalum Carbide

Pembawa Wafer Grafit Bersalut TaC

Hantar Pertanyaan

Kod QR

Tentang kita

Produk

Hubungi Kami

telefon

Faks

E-mel

Alamat