Produk

Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Tantalum Carbide Coating melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.


Produk utama ialahCincin Panduan Bersalut TaC, Cincin panduan tiga kelopak bersalut CVD TaC, Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon, CVD TaC salutan suseptor epitaxial SiC planet, Cincin Salutan Tantalum Carbide, Grafit Berliang Bersalut Tantalum Carbide, Susceptor Putaran Salutan TaC, Cincin Tantalum Carbide, Plat Putaran Salutan TaC, Suseptor wafer bersalut TaC, Cincin Deflektor Bersalut TaC, Penutup Salutan TaC CVD, Chuck Bersalut TaCdan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.


Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:


Excellent properties of TaC coating graphite


Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.


Ciri-ciri Utama:

 ●Kestabilan suhu

 ●Ketulenan ultra tinggi

 ●Rintangan kepada H2, NH3, SiH4, Si

 ●Rintangan kepada stok haba

 ●Lekatan yang kuat pada grafit

 ●Liputan salutan selaras

 Saiz sehingga 750 mm diameter (Satu-satunya pengeluar di China mencapai saiz ini)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Suseptor pemanasan induktif

 ● Elemen pemanasan rintangan

 ●Cakera satelit

 ●Kepala pancuran

 ●Cincin pemandu

 ●Penerima Epi LED

 ●Muncung suntikan

 ●Cincin bertopeng

 ● Perisai haba


Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan 14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus 0.3
Pekali pengembangan terma 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000 HK
Rintangan 1×10-5Ohm*cm
Kestabilan terma <2500 ℃
Perubahan saiz grafit -10~-20um
Ketebalan salutan ≥20um nilai biasa (35um±10um)


Data EDX salutan TaC

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur Peratus atom
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Purata
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Cincin salutan CVD TAC

Cincin salutan CVD TAC

Dalam industri semikonduktor, cincin salutan CVD TAC adalah komponen yang sangat berfaedah yang direka untuk memenuhi keperluan proses pertumbuhan kristal silikon karbida (SIC). Cincin salutan CVD TAC Vetek Semiconductor menyediakan rintangan suhu tinggi dan keterampilan kimia yang luar biasa, menjadikannya pilihan yang ideal untuk persekitaran yang dicirikan oleh suhu tinggi dan keadaan menghakis. Kami komited untuk mewujudkan pengeluaran aksesori kristal tunggal karbida silikon. Sila hubungi kami untuk lebih banyak soalan.
LPE SiC EPI Setengah Bulan

LPE SiC EPI Setengah Bulan

LPE SIC EPI Halfmoon adalah reka bentuk khas untuk relau epitaxy horizonational, produk revolusioner yang direka untuk meningkatkan proses reaktor LPE sic epitaxy. Penyelesaian canggih ini menawarkan beberapa ciri utama yang memastikan prestasi dan kecekapan yang lebih baik sepanjang operasi pembuatan anda. Semikonduktor Vetek adalah profesional di pembuatan lpe sic epi halfmoon dalam 6 inci, 8inch.Looking ke hadapan untuk menubuhkan kerjasama jangka panjang dengan anda.
LED EPI

LED EPI

Vetek Semiconductor adalah pembekal terkemuka salutan TAC dan bahagian grafit salutan SIC. Kami mengkhususkan diri dalam pengeluaran pemotong EPI yang memimpin EPI, penting untuk proses epitaxy yang diketuai. Nantikan perundingan lanjut anda.
PENGHASILAN MOCVD dengan salutan TAC

PENGHASILAN MOCVD dengan salutan TAC

Vetek Semiconductor adalah pembekal yang komprehensif yang terlibat dalam penyelidikan, pembangunan, pengeluaran, reka bentuk, dan jualan salutan TAC dan bahagian salutan SIC. Kepakaran kami terletak pada pengeluaran Susceptor MOCVD yang terkini dengan salutan TAC, yang memainkan peranan penting dalam proses epitaxy yang diketuai. Kami mengalu -alukan anda untuk berbincang dengan pertanyaan dan maklumat lanjut.
Susceptor LED UV Dalam Bersalut TaC

Susceptor LED UV Dalam Bersalut TaC

Salutan TaC ialah salutan generasi baharu yang dibangunkan untuk persekitaran yang keras. VeTek Semiconductor ialah pembekal bersepadu yang terlibat dalam penyelidikan dan pembangunan, pengeluaran, reka bentuk dan penjualan salutan TaC. Kami pakar dalam pembuatan TaC Coated UV LED Susceptors yang memotong tepi, yang merupakan komponen penting dalam proses epitaksi LED. Susceptor LED UV Dalam Bersalut TaC kami menawarkan kekonduksian terma yang tinggi, kekuatan mekanikal yang tinggi, kecekapan pengeluaran yang lebih baik dan perlindungan wafer epitaxial. Selamat datang untuk menyiasat kami.
Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon

Tantalum Carbide TaC Bersalut Halfmoon

Bahagian Halfmoon yang disalut dengan salutan CVD TaC, lebih tahan lama daripada bahagian halfmoon bersalut SiC. VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal terkemuka di China untuk Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, kami pakar dalam R&D dan pengeluaran, boleh mengawal kualiti dengan baik dan menawarkan yang kompetitif harga. Anda dialu-alukan untuk melawat kilang kami untuk perbincangan lanjut mengenai kerjasama jangka panjang.
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Tantalum Carbide di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept