Pemanas salutan TAC

TaC Coating Heater ialah elemen pemanasan berprestasi tinggi yang digunakan secara meluas dalam proses pembuatan semikonduktor. Permukaannya disalut dengan bahan tantalum karbida (TaC), yang memberikan pemanas rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan kimia dan kekonduksian haba yang sangat baik.

Aplikasi utama Pemanas Salutan TaC dalam pembuatan semikonduktor termasuk:

 ✔ Semasa proses pertumbuhan epitaxial gallium nitride (GaN), TaC Coating Heater menyediakan persekitaran suhu tinggi yang dikawal dengan tepat untuk memastikan lapisan epitaxial dimendapkan pada substrat pada kadar seragam dan berkualiti tinggi. Keluaran haba yang stabil membantu mencapai kawalan tepat bahan filem nipis, dengan itu meningkatkan prestasi peranti.

 ✔ Selain itu, dalam proses pemendapan wap kimia organik logam (MOCVD), digabungkan dengan rintangan suhu tinggi dan kekonduksian terma salutan TAC, pemanas salutan TAC biasanya digunakan untuk memanaskan gas tindak balas, dan dengan menyediakan pengedaran haba seragam, ia Menggalakkan tindak balas kimianya pada permukaan substrat, dengan itu meningkatkan keseragaman lapisan epitaxial dan membentuk filem berkualiti tinggi.

 ✔ Sebagai pemimpin industri dalam produk pemanas salutan TAC, Vetek Semiconducto sentiasa menyokong perkhidmatan penyesuaian produk dan harga produk yang memuaskan. Tidak kira apa keperluan khusus anda, kami akan memadankan penyelesaian terbaik untuk keperluan pemanas salutan TAC anda, dan menantikan konsultasi anda pada bila -bila masa.