Cincin Grafit Bersalut Tantalum Carbide (TaC).

Ciri-ciri Produk

• Peralatan Teras:Ditujukan untuk relau pertumbuhan kristal tunggal SiC yang beroperasi dengan teknologi PVT.
• Permohonan Utama:Sesuai untuk sistem medan haba dalam pertumbuhan kristal SiC semikonduktor generasi ketiga.
• Kestabilan Suhu Tinggi:Salutan TaC mengekalkan integriti struktur di bawah suhu ultra-tinggi, menyokong operasi lanjutan dalam persekitaran terma yang menuntut.
• Perlindungan kakisan:Lapisan CVD TaC yang padat melindungi substrat grafit daripada wap silikon, gas yang mengandungi karbon dan spesies menghakis lain yang ditemui semasa pertumbuhan SiC.
• Prestasi Medan Terma:Asas grafit berliang membantu dalam pengagihan haba dan pengangkutan wap, yang membantu mengekalkan keadaan pertumbuhan yang stabil.
• Pencemaran Rendah:Bahan permulaan ketulenan tinggi dan salutan padat mengehadkan pelepasan kekotoran dan penumpahan zarah, yang memanfaatkan kualiti kristal.
• Jangka Hayat Dilanjutkan:Lapisan TaC meningkatkan rintangan pengoksidaan, kekerasan permukaan, dan ketahanan keseluruhan pada suhu tinggi.
• Lekatan Salutan:Proses CVD menghasilkan ikatan yang kuat antara filem TaC dan substrat grafit.
• Pilihan Tersuai:Dimensi, butiran struktur dan spesifikasi salutan boleh dilaraskan untuk memadankan keperluan relau pertumbuhan SiC yang berbeza.

Spesifikasi Teknikal

Aplikasi

Cincin Grafit Bersalut TaC Berliang VETEK digunakan terutamanya dalam:

• Pertumbuhan kristal tunggal SiC melalui PVT
• Pembuatan semikonduktor generasi ketiga
• Pengeluaran substrat SiC
• Sistem medan haba dalam relau pertumbuhan kristal
• Pemprosesan semikonduktor suhu tinggi
• Komponen zon panas grafit lanjutan

Soalan Lazim

1. Apakah Cincin Grafit Bersalut TaC Berliang?

Ia adalah komponen medan haba untuk relau pertumbuhan kristal SiC. Ia menggabungkan struktur grafit berliang dengan salutan CVD TaC untuk menyampaikan pengurusan haba dan perlindungan terhadap kakisan suhu tinggi.

2. Mengapa menggunakan lapisan TaC untuk pertumbuhan kristal SiC?

TaC menyediakan kestabilan suhu tinggi dan rintangan kimia. Ia melindungi grafit daripada serangan wap silikon dan membantu mengekalkan persekitaran pertumbuhan yang bersih dan stabil.

3. Apakah yang ditawarkan oleh struktur grafit berliang?

Reka bentuk berliang menyokong pengagihan haba dan pengangkutan gas dalam relau, yang menyumbang kepada keadaan pertumbuhan kristal SiC yang stabil.

4. Bolehkah VETEK menghasilkan cincin grafit bersalut TaC yang disesuaikan?

ya. VETEK menawarkan penyesuaian berdasarkan lukisan pelanggan, reka bentuk relau dan keperluan proses, termasuk dimensi, konfigurasi substrat dan parameter salutan.