Silikon Karbida Pepejal

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide ialah komponen seramik penting dalam peralatan etsa plasma, silikon karbida pepejal(CVD silikon karbida) bahagian dalam peralatan etsa termasukcincin fokus, kepala pancuran mandian gas, dulang, gelang tepi, dsb. Disebabkan oleh kereaktifan dan kekonduksian yang rendah karbida silikon pepejal(CVD silikon karbida) kepada gas etsa yang mengandungi klorin - dan fluorin, ia adalah bahan yang sesuai untuk cincin pemfokus peralatan etsa plasma dan lain-lain komponen.

Sebagai contoh, cincin fokus adalah bahagian penting yang diletakkan di luar wafer dan bersentuhan langsung dengan wafer, dengan menggunakan voltan pada cincin untuk memfokuskan plasma yang melalui cincin, dengan itu memfokuskan plasma pada wafer untuk meningkatkan keseragaman pemprosesan. Cincin fokus tradisional diperbuat daripada silikon ataukuarza, silikon konduktif sebagai bahan cincin fokus biasa, ia hampir hampir dengan kekonduksian wafer silikon, tetapi kekurangan adalah rintangan goresan yang lemah dalam plasma yang mengandungi fluorin, bahan bahagian mesin etsa sering digunakan untuk tempoh masa, akan ada yang serius fenomena kakisan, dengan serius mengurangkan kecekapan pengeluarannya.

SCincin Fokus SiC olidPrinsip Kerja：

Perbandingan Cincin Fokus Berasaskan Si dan Cincin Fokus SiC CVD：