Cincin tepi sic

Dalam bidang pembuatan semikonduktor, cincin tepi SIC, sebagai komponen teras peralatan pemprosesan wafer, merevolusi landskap perindustrian dengan sifat bahan mereka. Nilai komponen ketepatan ini yang diperbuat daripada kristal tunggal karbida silikon terletak bukan hanya dalam kandungan berteknologi tinggi, tetapi juga dalam peningkatan yang signifikan dalam hasil dan pengoptimuman kos operasi yang dapat dibawa ke pengeluar cip.

Ciri -ciri struktur cincin tepi sic

Cincin kelebihan karbida silikon adalah komponen utama dalam peralatan etsa semikonduktor dan diperbuat daripada bahan karbida silikon yang tinggi yang disediakan oleh kaedah pemendapan wap kimia (CVD). Diameter struktur anulanya biasanya 200-450mm, dan ketebalan dikawal dalam 5-15mm, yang menampilkan ciri-ciri berikut:

1. Toleransi ekstrem: Boleh menahan persekitaran suhu tinggi 1500 ℃

2. Kestabilan plasma: pemalar dielektrik 9.7, voltan kerosakan 3mv/cm

3. Ketepatan Geometrik: Kesilapan Pusingan ≤0.05mm, Kekasaran Permukaan RA <0.2μm

Terobosan dalam proses pembuatan

Proses penyediaan moden mengamalkan kaedah tiga peringkat:

1. Pembentukan Matriks: Pembentukan menekan isostatik memastikan ketumpatan seragam

2. Sintering suhu tinggi: Rawatan penyebaran di atmosfera lengai pada 2100 ℃

3. Pengubahsuaian permukaan: Lapisan perlindungan nanoscale dibentuk melalui etsa ion reaktif (RIE). Penyelidikan terkini menunjukkan bahawa hayat perkhidmatan cincin kelebihan karbida silikon yang doped dengan boron 3% meningkat sebanyak 40%, dan kadar pencemaran wafer dikurangkan ke tahap 0.01ppm

Senario aplikasi

Ia menunjukkan kebolehpakaan dalam proses di bawah 5nm:

2. Etching Keseragaman: Ia dapat mengekalkan sisihan kadar etsa ± 1.5% di tepi wafer

3. Kawalan Pencemaran: Ia mengurangkan pencemaran logam sebanyak 92% berbanding dengan bahan kuarza tradisional

4. Kitaran Penyelenggaraan: Ia boleh beroperasi secara berterusan selama 1500 jam dalam plasma CF4/O2

Veteksemicon telah mencapai kejayaan dalam pengeluaran domestik cincin SIC Edge, yang dapat menjimatkan banyak perbelanjaan kos. Selamat datang untuk menghubungi kami pada bila -bila masa!