Cincin fokus sic pepejal

6. Bidang permohonan

7. Veteksemi pepejal fokus cincin teras teras

Rintangan kakisan plasma yang sangat baik

Di bawah pendedahan yang berpanjangan kepada plasmas berkepadatan tinggi yang sangat menghakis seperti CF4, O2, dan CL2, bahan konvensional terdedah kepada pencemaran pesat dan pencemaran zarah. Cincin fokus SIC pepejal kami mempamerkan rintangan kakisan yang sangat baik, dengan kadar kakisan jauh lebih rendah daripada bahan seperti kuarza atau alumina. Ini bermakna ia mengekalkan permukaan yang licin dari masa ke masa, dengan ketara mengurangkan risiko kecacatan wafer yang disebabkan oleh haus dan lusuh komponen, memastikan pengeluaran massa yang berterusan dan stabil.

Kestabilan suhu tinggi yang sangat baik dan prestasi pengurusan terma

Proses etsa semikonduktor menghasilkan haba yang ketara, menyebabkan komponen ruang mengalami turun naik suhu dramatik. Cincin tumpuan kami mempunyai pekali pengembangan terma yang sangat rendah, yang mampu menahan suhu sementara sehingga 1600 ° C tanpa retak atau ubah bentuk. Tambahan pula, kekonduksian terma tinggi yang wujud membantu menyebarkan haba secara merata dan cepat, meningkatkan pengagihan suhu dengan berkesan di pinggir wafer, dengan itu EnhanciKeseragaman dan konsistensi dimensi kritikal di seluruh wafer.

Kesucian bahan yang luar biasa dan ketumpatan struktur

Kami secara ketat mengawal kesucian bahan mentah karbida silikon (≥99.999%) dan menghapuskan pencemaran logam semasa proses sintering untuk memenuhi keperluan ketat proses pembuatan lanjutan untuk mengesan kawalan kekotoran. Struktur padat yang dibentuk melalui sintering suhu tinggi mempunyai keliangan yang sangat rendah, hampir sepenuhnya menghalang penembusan gas proses dan produk sampingan. Ini menghalang kemerosotan prestasi dan pertumbuhan zarah yang disebabkan oleh kemerosotan bahan dalaman, memastikan persekitaran ruang proses murni.

Kehidupan mekanikal yang tahan lama dan keberkesanan kos yang komprehensif

Berbanding dengan bahan habis konvensional yang memerlukan penggantian yang kerap, veteksemi pepejal sic focus menawarkan ketahanan yang luar biasa. Mereka mengekalkan prestasi yang stabil sepanjang hayat perkhidmatan mereka, memanjangkan kitaran pengganti beberapa kali. Ini bukan sahaja secara langsung mengurangkan kos perolehan bahagian ganti tetapi juga meningkatkan penggunaan mesin dengan mengurangkan downtime peralatan untuk penyelenggaraan, mengakibatkan kelebihan kos keseluruhan yang signifikan untuk pelanggan.

Kawalan saiz yang tepat dan perkhidmatan penyesuaian yang fleksibel

Kami memahami keperluan tepat mesin dan proses yang berbeza untuk bahan habis. Setiap cincin fokus menjalani pemesinan ketepatan dan ujian yang ketat untuk memastikan toleransi dimensi kritikal dalam ± 0.05mm. Kami juga menawarkan perkhidmatan tersuai, termasuk saiz tersuai, kemasan permukaan (menggilap kepada RA ≤ 0.2μm), dan pelarasan kekonduksian untuk memenuhi keperluan proses dan senario aplikasi khusus anda.

Untuk spesifikasi teknikal terperinci, kertas putih, atau pengaturan ujian sampel, sila hubungi pasukan sokongan teknikal kami untuk meneroka bagaimana Veteksemi dapat meningkatkan kecekapan proses anda.