Salutan Silikon Karbida

Veteksemicon Sic Coated Graphite Susceptor untuk ASM adalah komponen pembawa teras dalam proses epitaxial semikonduktor. Produk ini menggunakan teknologi salutan karbida pirolytic proprietari kami dan proses pemesinan ketepatan untuk memastikan prestasi yang unggul dan jangka hayat ultra panjang dalam persekitaran proses suhu tinggi dan menghakis. Kami sangat memahami keperluan ketat proses epitaxial pada kesucian substrat, kestabilan terma, dan konsistensi, dan komited untuk menyediakan pelanggan dengan penyelesaian yang stabil dan boleh dipercayai yang meningkatkan prestasi peralatan keseluruhan.

Veteksemicon Focus Ring direka khusus untuk menuntut peralatan etsa semikonduktor, terutamanya aplikasi etching SIC. Dilengkapi di sekitar chuck elektrostatik (ESC), berdekatan dengan wafer, fungsi utamanya adalah untuk mengoptimumkan pengedaran medan elektromagnet dalam ruang tindak balas, memastikan tindakan plasma seragam dan fokus di seluruh permukaan wafer. Cincin tumpuan berprestasi tinggi dengan ketara meningkatkan keseragaman kadar etch dan mengurangkan kesan kelebihan, secara langsung meningkatkan hasil produk dan kecekapan pengeluaran.

Veteksemicon Silicon Carbide Carrier Plate untuk etsa LED, yang direka khusus untuk pembuatan cip LED, adalah teras yang boleh digunakan dalam proses etsa. Diperbuat daripada karbida silikon kesakitan yang ketat, ia menawarkan rintangan kimia yang luar biasa dan kestabilan dimensi suhu tinggi, dengan berkesan menentang kakisan dari asid, pangkalan, dan plasma yang kuat. Ciri -ciri pencemaran yang rendah memastikan hasil yang tinggi untuk wafer epitaxial LED, manakala ketahanannya, jauh melebihi bahan tradisional, membantu pelanggan mengurangkan kos operasi keseluruhan, menjadikannya pilihan yang boleh dipercayai untuk meningkatkan kecekapan proses etsa dan konsistensi.

Veteksemi pepejal sic fokus cincin dengan ketara meningkatkan keseragaman etsa dan kestabilan proses dengan tepat mengawal medan elektrik dan aliran udara di pinggir wafer. Ia digunakan secara meluas dalam proses etsa ketepatan untuk silikon, dielektrik, dan bahan semikonduktor kompaun, dan merupakan komponen utama untuk memastikan hasil pengeluaran besar-besaran dan operasi peralatan yang boleh dipercayai jangka panjang.

Kepala mandi grafit bersalut CVD SIC dari Veteksemicon adalah komponen berprestasi tinggi yang direka khusus untuk proses pemendapan wap kimia semikonduktor (CVD). Dikeluarkan dari grafit kemelut tinggi dan dilindungi dengan salutan silikon pemendapan wap (CVD) karbida (SIC), kepala pancuran ini memberikan ketahanan yang luar biasa, kestabilan haba, dan ketahanan terhadap gas proses yang menghakis. Nantikan perundingan lanjut anda.

Pemegang wafer salutan karbida silikon oleh Veteksemicon direkayasa untuk ketepatan dan prestasi dalam proses semikonduktor canggih seperti MOCVD, LPCVD, dan penyepuh suhu tinggi. Dengan salutan CVD SIC seragam, pemegang wafer ini memastikan kekonduksian terma yang luar biasa, keterangkuman kimia, dan kekuatan mekanikal-penting untuk pemprosesan wafer yang bebas pencemaran, hasil.