Cincin Atas Epitaksi Bersalut CVD Silicon Carbide (SiC) 8-inci

Ciri-ciri Utama Cincin Atas Epi 8 Inci SiC

● Ketulenan Tinggi: 99.9995% minimum. Logam tidak akan berhijrah ke dalam lapisan epi. Ini mengekalkan kepekatan pembawa wafer di tempat yang sepatutnya.

● Penindasan zarah: Struktur CVD adalah padat. Tiada pori. Ia tidak akan menumpahkan zarah semasa alat sedang berjalan. Kilang melihat hasil yang lebih baik dengan cara ini.

● Rintangan Haba: Cincin kekal stabil pada 1500°C. CTE rendah (pengembangan terma) bermakna tiada ledingan semasa kitaran pemanasan/penyejukan pantas.

● Kestabilan Kimia: CVD SiC pepejal menentang gas H2 dan HCl. Ia juga menentang NH3. Ia tidak mempunyai salutan untuk dikupas. Ia tidak merosot dalam persekitaran CVD yang keras.

● Kehidupan Komponen: Permukaan sangat keras. Ia bertahan dalam pembersihan kimia HF/HCl berulang. Ini mengurangkan kekerapan penggantian. Ia juga mengurangkan jumlah kos pemilikan untuk fab.

Spesifikasi Teknikal

Keseragaman ketebalan salutan antara kelompok dikawal pada 10um

Aplikasi

Cincin atas epi CVD SiC digunakan secara meluas dalam:

● Reaktor silikon epitaksi (Si Epi).

● Epitaksi silikon karbida (SiC Epi)

● Sistem MOCVD

● Peralatan pemendapan CVD

Biasa dipasangkan dengan:

● Susceptors

● Pembawa wafer

● Panaskan gelang

● Reaktor epitaksi

Mengapa hoose VETEK SiC Epi Top Ring?

● Keupayaan Pengilangan Penuh: 

Daripada penulenan bahan mentah kepada pemesinan ketepatan dan salutan CVD, VETEK mengawal keseluruhan proses pengeluaran untuk memastikan kualiti gred semikonduktor yang konsisten.

● Ketepatan Tinggi: 

Kami menggunakan pemesinan tahap mikron. Ketebalan CVD sangat seragam. Ini menjadikan setiap cincin berfungsi dengan cara yang sama.

Soalan Lazim

(1) Apakah yang dilakukan oleh cincin atas epi SiC?

Cincin menguruskan haba dan aliran gas. Ia memastikan filem nipis tumbuh sama rata merentasi wafer.

(2) Mengapakah CVD SiC lebih baik daripada grafit?

Grafit berliang. Grafit mempunyai liang dan membebaskan gas. SiC CVD pepejal adalah padat dan bersih. Ia tahan lebih lama dalam alat menghakis.

(3). Bolehkah cincin atas SiC 8 inci disesuaikan?

ya. Kami membina lukisan alat khusus anda. Kami boleh melaraskan geometri berdasarkan proses anda.

(4) Apakah industri yang menggunakan cincin epitaksi SiC?

Ia digunakan terutamanya dalam pembuatan semikonduktor, termasuk peranti kuasa, peranti RF, dan pengeluaran wafer SiC.