Salutan Silikon Karbida

Seceptor Wafer CVD SIC Veteksemicon adalah penyelesaian canggih untuk proses epitaxial semikonduktor, yang menawarkan kesucian ultra tinggi (≤100ppb, ICP-E10 yang disahkan) dan kestabilan termal/kimia yang luar biasa untuk pertumbuhan yang berasaskan pencemaran GAN, SIC, dan SIC. Direkayasa dengan teknologi CVD ketepatan, ia menyokong wafer 6 "/8"/12 ", memastikan tekanan haba yang minimum, dan menahan suhu yang melampau sehingga 1600 ° C.

Secceptor planet bersalut SIC kami adalah komponen teras dalam proses suhu tinggi pembuatan semikonduktor. Reka bentuknya menggabungkan substrat grafit dengan salutan karbida silikon untuk mencapai pengoptimuman komprehensif prestasi pengurusan haba, kestabilan kimia dan kekuatan mekanikal.

Cincin pengedap bersalut SIC kami untuk epitaxy adalah komponen pengedap berprestasi tinggi berdasarkan grafit atau komposit karbon-karbon yang dilapisi dengan silikon karbida silikon tinggi (SIC) oleh pemendapan wap kimia (CVD), yang menggabungkan kestabilan terma dengan rintangan persekitaran yang melampau, dan direka bentuk.

Veteksemicon Single Wafer Epi Graphite Susceptor direka untuk karbida silikon berprestasi tinggi (SIC), gallium nitride (GAN) dan proses epitaxial semikonduktor generasi ketiga yang lain, dan komponen galas teras lembaran epitaxial tinggi dalam pengeluaran besar-besaran.

Komponen penting yang digunakan dalam proses etsa fabrikasi wafer adalah cincin fokus plasma etching, yang fungsinya adalah untuk memegang wafer untuk mengekalkan ketumpatan plasma dan mencegah pencemaran sisi wafer.

Vetek Semiconductor adalah pengeluar dan pembekal terkemuka SIC E-Chucks di China. SIC Coated E-Chuck direka khas untuk proses etsa wafer GAN, dengan prestasi yang sangat baik dan hayat perkhidmatan yang panjang, untuk memberikan sokongan semua pusingan untuk pembuatan semikonduktor anda. Keupayaan pemprosesan yang kuat kami membolehkan kami memberi anda SIC Seramic Susceptor yang anda mahukan. Nantikan pertanyaan anda.