Produk

Salutan Silikon Karbida

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.


Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting untuk pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.


Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.


Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda Nilai Biasa
Struktur Kristal Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan salutan SiC 3.21 g/cm³
Salutan SiC Kekerasan 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz Bijirin 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma 300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE) 4.5×10-6K-1

STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Veeco mengetuai EP

Veeco mengetuai EP

Veeco Veeco Veeco LED EPI VETEK direka untuk pertumbuhan epitaxial LED merah dan kuning. Bahan -bahan lanjutan dan teknologi salutan CVD SIC memastikan kestabilan haba pemotong, menjadikan seragam medan suhu semasa pertumbuhan, mengurangkan kecacatan kristal, dan meningkatkan kualiti dan konsistensi wafer epitaxial. Ia serasi dengan peralatan pertumbuhan epitaxial Veeco dan boleh diintegrasikan dengan lancar ke dalam barisan pengeluaran. Reka bentuk yang tepat dan prestasi yang boleh dipercayai membantu meningkatkan kecekapan dan mengurangkan kos. Nantikan pertanyaan anda.
CVD sic Focus Ring

CVD sic Focus Ring

Vetek Semiconductor adalah pengilang domestik dan pembekal cincin fokus CVD SIC, yang didedikasikan untuk menyediakan penyelesaian produk yang tinggi, kebolehpercayaan tinggi untuk industri semikonduktor. Cincin fokus CVD SIC Vetek menggunakan teknologi pemendapan wap kimia (CVD) yang maju, mempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan dan kekonduksian terma, dan digunakan secara meluas dalam proses litografi semikonduktor. Pertanyaan anda sentiasa dialu -alukan.
Komponen siling Aixtron G5+

Komponen siling Aixtron G5+

Vetek Semiconductor telah menjadi pembekal bahan habis untuk banyak peralatan MOCVD dengan keupayaan pemprosesannya yang unggul. Komponen siling Aixtron G5+ adalah salah satu produk terbaru kami, yang hampir sama dengan komponen Aixtron yang asal dan telah menerima maklum balas yang baik dari pelanggan. Jika anda memerlukan produk tersebut, sila hubungi Vetek Semiconductor!
Sic Coated Graphite Barrel Susceptor

Sic Coated Graphite Barrel Susceptor

Vetek Semiconductor SIC SCOUTED GRAPHITE BARREL SUSCEPTOR adalah dulang wafer berprestasi tinggi yang direka untuk proses epitaxy semikonduktor, yang menawarkan kekonduksian terma yang sangat baik, suhu tinggi dan rintangan kimia, permukaan kemelut tinggi, dan pilihan yang boleh disesuaikan untuk meningkatkan kecekapan pengeluaran. Selamat datang pertanyaan lanjut anda.
Menyediakan wafer epitaxial MOCVD

Menyediakan wafer epitaxial MOCVD

Vetek Semiconductor telah terlibat dalam industri pertumbuhan epitaxial semikonduktor untuk masa yang lama dan mempunyai pengalaman yang kaya dan kemahiran memproses dalam produk pemotong wafer epitaxial MOCVD. Hari ini, Vetek Semiconductor telah menjadi pengeluar dan pembekal pemotong wafer epitaxial terkemuka di China, dan pembekal wafer yang disediakannya telah memainkan peranan penting dalam pembuatan wafer epitaxial GAN ​​dan produk lain.
Cincin bersalut relau menegak

Cincin bersalut relau menegak

Gelang bersalut SiC Relau menegak ialah komponen yang direka khas untuk relau Menegak. VeTek Semiconductor boleh melakukan yang terbaik untuk anda dari segi bahan dan proses pembuatan. Sebagai pengeluar terkemuka dan pembekal cincin bersalut SiC relau menegak di China, VeTek Semiconductor yakin kami boleh menyediakan anda dengan produk dan perkhidmatan terbaik.
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept