Produk

Salutan Silikon Karbida

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.


Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting untuk pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.


Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.


Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda Nilai Biasa
Struktur Kristal Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan salutan SiC 3.21 g/cm³
Salutan SiC Kekerasan 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz Bijirin 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma 300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE) 4.5×10-6K-1

STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Gan Epitaxial Undertaker

Gan Epitaxial Undertaker

Sebagai pembekal dan pengilang pemotong epitaxial GAN ​​terkemuka di China, Vetek semikonduktor GAN Epitaxial Susceptor adalah pemecah ketepatan tinggi yang direka untuk proses pertumbuhan epitaxial GAN, yang digunakan untuk menyokong peralatan epitaxial seperti CVD dan MOCVD. Dalam pembuatan peranti GAN (seperti peranti elektronik kuasa, peranti RF, LED, dan lain-lain), Susceptor Epitaxial GAN ​​membawa substrat dan mencapai pemendapan berkualiti tinggi filem GaN nipis di bawah persekitaran suhu tinggi. Selamat datang pertanyaan lanjut anda.
Pembawa wafer bersalut SiC

Pembawa wafer bersalut SiC

Sebagai pembekal dan pengilang pembawa wafer bersalut SIC di China, pembawa wafer bersalut SIC Vetek semikonduktor diperbuat daripada salutan grafit berkualiti tinggi dan CVD SIC, yang mempunyai kestabilan super dan boleh bekerja untuk masa yang lama dalam kebanyakan reaktor epitaxial. Vetek Semiconductor mempunyai keupayaan pemprosesan yang terkemuka di industri dan dapat memenuhi pelbagai keperluan pelanggan untuk pembawa wafer bersalut SIC. Vetek Semiconductor berharap dapat mewujudkan hubungan koperasi jangka panjang dengan anda dan berkembang bersama-sama.
SIC Coating Graphite MOCVD Heater

SIC Coating Graphite MOCVD Heater

VeTeK Semiconductor menghasilkan pemanas MOCVD grafit Salutan SiC, yang merupakan komponen utama proses MOCVD. Berdasarkan substrat grafit ketulenan tinggi, permukaannya disalut dengan salutan SiC ketulenan tinggi untuk memberikan kestabilan suhu tinggi yang sangat baik dan rintangan kakisan. Dengan perkhidmatan produk berkualiti tinggi dan tersuai tinggi, pemanas MOCVD grafit Salutan SiC Semiconductor VeTeK ialah pilihan ideal untuk memastikan kestabilan proses MOCVD dan kualiti pemendapan filem nipis. VeTeK Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi anda.
Silicon Carbide Bersalut Epi Susceptor

Silicon Carbide Bersalut Epi Susceptor

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal produk salutan SiC terkemuka di China. Susceptor Epi bersalut silikon karbida VeTek Semiconductor mempunyai tahap kualiti tertinggi industri, sesuai untuk pelbagai gaya relau pertumbuhan epitaxial, dan menyediakan perkhidmatan produk yang sangat disesuaikan. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Salutan SiC Dulang epitaxial silikon monokristalin

Salutan SiC Dulang epitaxial silikon monokristalin

Salutan SiC Dulang epitaxial silikon monokristalin ialah aksesori penting untuk relau pertumbuhan epitaxial silikon monohablur, memastikan pencemaran minimum dan persekitaran pertumbuhan epitaxial yang stabil. Salutan SiC VeTek Semiconductor Dulang epitaksi silikon monokristalin mempunyai hayat perkhidmatan yang sangat panjang dan menyediakan pelbagai pilihan penyesuaian. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Pembawa wafer sic pepejal

Pembawa wafer sic pepejal

Pembawa Wafer Sic Wafer SIC Vetek direka untuk persekitaran yang tinggi dan persekitaran tahan kakisan dalam proses epitaxial semikonduktor dan sesuai untuk semua jenis proses pembuatan wafer dengan keperluan kesucian yang tinggi. Vetek Semiconductor adalah pembekal pembawa wafer terkemuka di China dan berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda dalam industri semikonduktor.
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept