Salutan Silikon Karbida

Kepala mandi grafit bersalut CVD SIC dari Veteksemicon adalah komponen berprestasi tinggi yang direka khusus untuk proses pemendapan wap kimia semikonduktor (CVD). Dikeluarkan dari grafit kemelut tinggi dan dilindungi dengan salutan silikon pemendapan wap (CVD) karbida (SIC), kepala pancuran ini memberikan ketahanan yang luar biasa, kestabilan haba, dan ketahanan terhadap gas proses yang menghakis. Nantikan perundingan lanjut anda.

Pemegang wafer salutan karbida silikon oleh Veteksemicon direkayasa untuk ketepatan dan prestasi dalam proses semikonduktor canggih seperti MOCVD, LPCVD, dan penyepuh suhu tinggi. Dengan salutan CVD SIC seragam, pemegang wafer ini memastikan kekonduksian terma yang luar biasa, keterangkuman kimia, dan kekuatan mekanikal-penting untuk pemprosesan wafer yang bebas pencemaran, hasil.

Veteksemicon cincin kelebihan sic-sic, direka khas untuk peralatan etsa semikonduktor, mempunyai rintangan kakisan yang luar biasa dan kestabilan terma, meningkatkan hasil wafer dengan ketara

Sebagai pengilang dan pembekal produk salutan karbida silikon terkemuka, pembawa wafer bersalut SIC Veteksemicon untuk etching memainkan peranan teras yang tidak dapat ditukar dalam proses etsa dengan kestabilan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan yang luar biasa dan kekonduksian terma yang tinggi.

Seceptor Wafer CVD SIC Veteksemicon adalah penyelesaian canggih untuk proses epitaxial semikonduktor, yang menawarkan kesucian ultra tinggi (≤100ppb, ICP-E10 yang disahkan) dan kestabilan termal/kimia yang luar biasa untuk pertumbuhan yang berasaskan pencemaran GAN, SIC, dan SIC. Direkayasa dengan teknologi CVD ketepatan, ia menyokong wafer 6 "/8"/12 ", memastikan tekanan haba yang minimum, dan menahan suhu yang melampau sehingga 1600 ° C.

Secceptor planet bersalut SIC kami adalah komponen teras dalam proses suhu tinggi pembuatan semikonduktor. Reka bentuknya menggabungkan substrat grafit dengan salutan karbida silikon untuk mencapai pengoptimuman komprehensif prestasi pengurusan haba, kestabilan kimia dan kekuatan mekanikal.