Pembawa Wafer untuk VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Ciri-ciri Produk：

1. Pangkalan grafit ketulenan tinggi dengan lapisan SiC CVD padat
2. Keseragaman terma yang baik untuk epitaksi LED yang stabil
3. Tahan kepada NH₃, HCl, dan gas menghakis lain yang digunakan dalam proses
4. Penumpahan zarah rendah dan hayat perkhidmatan yang panjang
5. Reka bentuk poket boleh disesuaikan untuk saiz wafer dan platform reaktor yang berbeza
6. Berfungsi dengan baik untuk operasi MOCVD suhu tinggi jangka panjang

Aplikasi:
Pembawa wafer ini digunakan secara meluas dalam epitaksi semikonduktor LED dan kompaun, termasuk:

• Epitaksi LED GaN
• Epitaksi LED biru-hijau
• Pertumbuhan LED UV mendalam
• Epitaksi GaN berasaskan Si
• Pembuatan semikonduktor kompaun am

Penyelesaian pembawa tersuai sesuai dengan berbilang platform MOCVD LED, seperti:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Kelebihan Teknikal:

1. Salutan CVD SiCteknologi yang memberi anda kepadatan dan ketulenan yang baik
2. Variasi ketebalan salutan dipegang dalam ±10 μm – membantu prestasi terma kekal stabil
3. Pemesinan CNC sehingga ketepatan 3 μm untuk kesesuaian wafer yang baik dan kestabilan putaran
4. Salutan melekat dengan baik dan tahan retak selepas kitaran MOCVD suhu tinggi berulang
5. Mengendalikan NH₃, HCl dan persekitaran epitaksi keras yang lain tanpa masalah
6. Penjanaan zarah rendah dan permukaan bersih untuk menyokong hasil tinggiEpitaksi LED
7. Boleh menyalut saiz besar atau tersuai untuk platform reaktor dan susun atur wafer yang berbeza
8. Pengalaman panjang dengangrafit tersuai dan bahagian bersalut SiCuntuk epitaksi semikonduktor LED dan kompaun

Soalan Lazim:
1. Apakah yang dilakukan oleh pembawa waferMOCVDEpitaksi LED?

A: Ia memegang dan memutar wafer di dalam reaktor MOCVD, dan membantu mengekalkan suhu stabil semasa pertumbuhan epitaxial.

2. Mengapa menggunakan pembawa wafer grafit bersalut SiC untuk MOCVD?

A: YangSalutan CVD SiCmemberikan rintangan kakisan yang lebih baik, kestabilan haba, dan ketahanan. Ia juga membantu mengurangkan pencemaran zarah dalam epitaksi suhu tinggi.

3. Adakah Vetek Semiconductor membuat pembawa wafer tersuai?
A: Ya. Kami boleh mereka bentuk pembawa tersuai berdasarkan platform reaktor anda, saiz wafer, susun atur poket dan keperluan proses lain.