Epitaksi Silikon

Silicon Epitaxy, EPI,Epitaxy,Epitaxial merujuk kepada pertumbuhan lapisan kristal dengan arah kristal yang sama dan ketebalan kristal yang berbeza pada substrat silikon kristal tunggal. Teknologi pertumbuhan epitaxial diperlukan untuk pembuatan komponen diskret semikonduktor dan litar bersepadu, kerana kekotoran yang terkandung dalam semikonduktor termasuk jenis-N dan jenis-P. Melalui gabungan pelbagai jenis, peranti semikonduktor mempamerkan pelbagai fungsi.

Kaedah pertumbuhan epitaksi silikon boleh dibahagikan kepada epitaksi fasa gas, epitaksi fasa cecair(LPE), epitaksi fasa pepejal, kaedah pertumbuhan pemendapan wap kimia digunakan secara meluas di dunia untuk memenuhi integriti kekisi.

Peralatan epitaxial silikon tipikal diwakili oleh syarikat Itali LPE, yang mempunyai pankek epitaxial hy pnotic tor, jenis tong hy pnotic tor, semikonduktor hy pnotic, pembawa wafer dan sebagainya. Gambarajah skematik kebuk tindak balas epitaxial hy pelector berbentuk tong adalah seperti berikut. Semikonduktor VeTek boleh menyediakan pelektor epitaxial hy wafer berbentuk tong. Kualiti pelektor HY bersalut SiC sangat matang. Kualiti yang setara dengan SGL; Pada masa yang sama, VeTek Semiconductor juga boleh menyediakan muncung kuarza rongga tindak balas epitaxial silikon, Sekat kuarza, balang loceng dan produk lengkap lain.

Susceptor Epitaxial Menegak untuk Epitaksi Silikon:

Produk suseptor epitaxial menegak utama VeTek Semiconductor

Susceptor Tong Grafit Bersalut SiC untuk EPI Susceptor Tong Bersalut SiC Susceptor Tong Bersalut CVD SiC Set Reseptor LPE SI EPI

Susceptor Epitaxial Mendatar untuk Epitaksi Silikon:

Produk suseptor epitaxial mendatar utama Vetek Semiconductor

Salutan SiC Dulang epitaxial silikon monokristalin Sokongan Bersalut SiC untuk LPE PE2061S Penerima Berputar Grafit