Sokongan berputar grafit

Penggemar wafer adalah satu kemestian untuk proses pertumbuhan epitaxial. Semasa pertumbuhan epitaxial, substrat wafer diletakkan di dalam susceptor. Dalam pertumbuhan epitaxial Gallium nitride (proses MOCVD), mereka memainkan peranan sokongan dalam putaran substrat. Susceptor grafit berputar Vetek Semiconductor mempunyai kelebihan berikut:

● Kesucian yang tinggi: Kandungan kekotoran dalam grafit tinggi grafit berputar pemutar adalah di bawah 5ppm. Tahap grafit kesucian ini dapat mengelakkan pembebasan kekotoran pada suhu tinggi untuk memastikan kebersihan proses pemendapan. Oleh itu, tiada salutan diperlukan untuk memenuhi keperluan kerja.

Grafit Kemurnian Tinggi

● Sifat terma yang sangat baik: Grafit kemelut tinggi mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik, dan kekonduksian terma jauh lebih tinggi daripada bahan lain. Koefisien pengembangan haba adalah kecil dan dapat mengekalkan prestasi yang stabil ketika mengalami perubahan suhu.

● Sifat mekanikal yang baik: Grafit kemelut tinggi mempunyai rintangan dan ketahanan yang baik, yang dapat memenuhi keperluan kompleks proses CVD.

● Kekonduksian yang sangat baik: Kekonduksian adalah seratus kali lebih tinggi daripada mineral bukan logam umum.

● Kestabilan kimia: Ia boleh menahan kakisan dari asid, alkali dan pelarut organik

Selain itu, sebagai pengeluar terkemuka dan pembekal pemusnahan grafit yang tinggi di China, Vetek Semiconductor juga membekalkan berkualiti tinggiSIC CLEATED GRAPHITE SUSCED UNTUK MOCVD, SIC STOUSED SUSCEPTOR, Sokongan grafit bersalut TACdanSUSCEPTOR MOCVD SIC SIC.Vetek Semiconductor komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk canggih untuk industri semikonduktor, dan juga menyokong perkhidmatan yang disesuaikan. Kami sangat berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Ia semikonduktorGrafite berputar kedai produk Susceptor: