Produk

Salutan Silikon Karbida

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.


Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting untuk pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.


Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.


Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda Nilai Biasa
Struktur Kristal Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan salutan SiC 3.21 g/cm³
Salutan SiC Kekerasan 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz Bijirin 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma 300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE) 4.5×10-6K-1

STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Cincin salutan CVD SiC

Cincin salutan CVD SiC

Cincin salutan CVD SiC adalah salah satu bahagian penting bahagian halfmoon. Bersama-sama dengan bahagian lain, ia membentuk ruang tindak balas pertumbuhan epitaxial SiC. VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal cincin salutan CVD SiC profesional. Mengikut keperluan reka bentuk pelanggan, kami boleh menyediakan cincin salutan CVD SiC yang sepadan pada harga yang paling kompetitif. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
SUSCETOR T -SIC CVD SIC

SUSCETOR T -SIC CVD SIC

Vetek Semiconductor adalah pengeluar terkemuka dan inovator SIC CVD SIC Coated Graphite Susceptor di China. Susceptor barel bersalut CVD kami memainkan peranan penting dalam mempromosikan pertumbuhan epitaxial bahan semikonduktor pada wafer dengan ciri -ciri produk yang sangat baik. Selamat datang ke konsultasi lanjut anda.
SUSCEPTOR MOCVD SIC SIC

SUSCEPTOR MOCVD SIC SIC

Vetek Semiconductor adalah pengeluar terkemuka dan pembekal pemotong salutan MOCVD SIC di China, yang memberi tumpuan kepada R & D dan pengeluaran produk salutan SIC selama bertahun -tahun. Pencahayaan salutan MOCVD SIC kami mempunyai toleransi suhu tinggi yang sangat baik, kekonduksian terma yang baik, dan pekali pengembangan terma yang rendah, memainkan peranan penting dalam menyokong dan memanaskan silikon atau silikon karbida (sic) wafer dan pemendapan gas seragam. Selamat datang untuk berunding lagi.
Bahagian grafit separuh bulan salutan SiC

Bahagian grafit separuh bulan salutan SiC

Sebagai pengeluar dan pembekal semikonduktor profesional, VeTek Semiconductor boleh menyediakan pelbagai komponen grafit yang diperlukan untuk sistem pertumbuhan epitaxial SiC. Bahagian grafit halfmoon salutan SiC ini direka untuk bahagian masuk gas reaktor epitaxial dan memainkan peranan penting dalam mengoptimumkan proses pembuatan semikonduktor. VeTek Semiconductor sentiasa berusaha untuk menyediakan pelanggan dengan produk berkualiti terbaik pada harga yang paling kompetitif. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Pemanas grafik zon panas

Pemanas grafik zon panas

Pemanas grafit zon panas Veteksemicon direka untuk mengendalikan keadaan yang melampau dalam relau suhu tinggi dan mengekalkan prestasi dan kestabilan yang sangat baik dalam proses kompleks seperti pemendapan wap kimia (CVD), pertumbuhan epitaxial dan penyepuhlindapan suhu tinggi. Veteksemicon sentiasa memberi tumpuan kepada menghasilkan dan menyediakan pemanas grafit zon panas berkualiti tinggi. Kami dengan tulus menjemput anda untuk menghubungi kami.
Pemanas MOCVD VEECO

Pemanas MOCVD VEECO

Vetek Semiconductor adalah pengeluar utama dan pembekal produk pemanas Veeco MOCVD di China. Pemanas MOCVD mempunyai kesucian kimia yang sangat baik, kestabilan terma dan rintangan kakisan. Ia adalah produk yang sangat diperlukan dalam proses pemendapan wap kimia organik logam (MOCVD). Selamat datang ke pertanyaan lanjut anda.
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept