Salutan Silikon Karbida

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.


Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting untuk pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.


Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.


Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda Nilai Biasa
Struktur Kristal Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan salutan SiC 3.21 g/cm³
Salutan SiC Kekerasan 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz Bijirin 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma 300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE) 4.5×10-6K-1

STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
VEECO MOCVD Providence

VEECO MOCVD Providence

Sebagai pengeluar dan pembekal terkemuka produk Susceptor MOCVD Veeco di China, Susceptor MOCVD Vetek Semiconductor mewakili kemunculan inovasi dan kecemerlangan kejuruteraan, khususnya disesuaikan untuk memenuhi keperluan kompleks proses pembuatan semikonduktor kontemporari. Selamat datang pertanyaan lanjut anda.
Bahagian pengedap sic

Bahagian pengedap sic

Sebagai pengeluar produk dan kilang bahagian SIC Sealing di China. Vetek Semiconducto SIC Sealing Bahagian adalah komponen pengedap berprestasi tinggi yang digunakan secara meluas dalam pemprosesan semikonduktor dan lain-lain proses tekanan tinggi dan tekanan tinggi yang melampau. Selamat datang perundingan lanjut anda.
Silikon karbida wafer chuck

Silikon karbida wafer chuck

Sebagai pengeluar terkemuka dan pembekal produk silikon karbida wafer chuck di China, wafer silikon karbida Vetek semikonduktor memainkan peranan yang tidak dapat ditukar dalam proses pertumbuhan epitaxial dengan rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan kimia dan rintangan kejutan terma. Selamat datang perundingan lanjut anda.
Kepala pancuran karbida silikon

Kepala pancuran karbida silikon

Kepala pancuran karbida silikon mempunyai toleransi suhu tinggi yang sangat baik, kestabilan kimia, kekonduksian terma dan prestasi pengedaran gas yang baik, yang dapat mencapai pengedaran gas seragam dan meningkatkan kualiti filem. Oleh itu, ia biasanya digunakan dalam proses suhu tinggi seperti proses pemendapan wap kimia (CVD) atau pemendapan wap fizikal (PVD). Selamat datang perundingan lanjut kepada kami, Vetek Semiconductor.
Cincin meterai karbida silikon

Cincin meterai karbida silikon

Sebagai pengeluar produk dan kilang silikon karbida silikon profesional di China, Vetek semikonduktor silikon cincin meterai karbida digunakan secara meluas dalam peralatan pemprosesan semikonduktor kerana rintangan haba yang sangat baik, rintangan kakisan, kekuatan mekanikal dan kekonduksian terma. Ia amat sesuai untuk proses yang melibatkan suhu tinggi dan gas reaktif seperti CVD, PVD dan etsa plasma, dan merupakan pilihan bahan utama dalam proses pembuatan semikonduktor. Pertanyaan lanjut anda dialu -alukan.
Pemegang wafer bersalut sic

Pemegang wafer bersalut sic

Vetek Semiconductor adalah pengeluar profesional dan pemimpin produk pemegang wafer bersalut SIC di China. Pemegang wafer bersalut sic adalah pemegang wafer untuk proses epitaxy dalam pemprosesan semikonduktor. Ia adalah peranti yang tidak boleh digantikan yang menstabilkan wafer dan memastikan pertumbuhan seragam lapisan epitaxial. Selamat datang perundingan lanjut anda.
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept