Tiub Relau Kuarza untuk Relau Resapan

1. Ciri & Kelebihan Utama

• Kuarza bersatu dehidroksilasi ketulenan ultra tinggi (SiO₂ ≥ 99.999%) dengan kekotoran logam dikawal pada tahap ppb dan kandungan hidroksil yang sangat rendah

• Suhu operasi jangka panjang sehingga 1100 °C; rintangan puncak jangka pendek kepada 1200 °C

• Rintangan kejutan haba yang sangat baik selepas penyepuhlindapan pelepasan tekanan penuh—tahan retak di bawah perubahan suhu yang pantas

• Ketidakupayaan kimia yang luar biasa terhadap gas proses pengoksidaan, pengurangan dan yang mengandungi halogen; sesuai untuk plasma dan atmosfera menghakis

• Pengeluaran gas vakum yang sangat rendah; dinding dalaman yang licin meminimumkan pembentukan produk sampingan dan menyokong kebolehulangan proses

• Pembentukan satu keping dengan ketebalan dinding yang seragam, keserasian tinggi dan hujung yang siap dengan ketepatan untuk pengedap yang boleh dipercayai

• Struktur boleh disesuaikan: tiub lurus, tiub pengurang, tiub bebibir, panjang lanjutan dan konfigurasi hujung khas untuk relau menegak atau mendatar

2. Aplikasi Biasa

Tiub relau kuarza VeTek digunakan secara meluas sebagai ruang tindak balas teras dalam:

• Relau pengoksidaan terma (pengoksidaan kering/basah)

• Relau resapan untuk pengenalan dopan (B, P, As, dsb.)

• Sistem LPCVD untuk pemendapan filem nipis

• Penyepuhlindapan vakum dan proses rawatan haba suhu tinggi yang lain

• Serasi dengan platform wafer 4 inci, 6 inci, 8 inci dan 12 inci (substrat Si, SiC, GaN, nilam)

Mereka menyokong logik, memori, peranti kuasa, MCU, LED, MEMS, dan jalur pembuatan semikonduktor celah jalur lebar yang memerlukan keseragaman suhu yang stabil, kawalan aliran gas dan persekitaran proses ultra-bersih.

3. Parameter Teknikal Utama

• Bahan: Kuarza bercantum dehidroksilasi gred semikonduktor (SiO₂ ≥ 99.999%), hidroksil rendah, kekotoran logam rendah

• Keserasian wafer: 4 / 6 / 8 / 12 inci

• Suhu kerja jangka panjang: −20 °C hingga 1100 °C; puncak jangka pendek sehingga 1200 °C

• Proses: Pembentukan haba sekeping, homogenisasi dinding, kemasan hujung, penyepuhlindapan pelepasan tekanan, ujian kebocoran helium, pembersihan ultra-bersih

• Struktur yang tersedia: Tiub lurus, tiub pengurang, tiub bebibir, tiub lanjutan / panjang tersuai, konfigurasi hujung khas

• Penyesuaian: Diameter dalam/luar, panjang, ketebalan dinding, spesifikasi bebibir dan geometri khas bagi setiap lukisan pelanggan

4. Mengapa Memilih Tiub Relau Kuarza VeTek?

Sebagai pengilang profesional komponen kuarza semikonduktor, VeTek Semiconductor menawarkan:

• Tiub relau kuarza ketulenan tinggi direka bentuk untuk peralatan pengoksidaan, resapan, LPCVD dan penyepuhlindapan

• Kawalan ketulenan yang ketat, ketepatan dimensi dan kebersihan yang sesuai untuk pengeluaran bilik bersih Kelas 10 / Kelas 100

• Penyesuaian penuh dan reka bentuk serasi OEM untuk relau tiub menegak dan mendatar

• Produk kuarza semikonduktor pelengkap termasuk bot wafer, mangkuk pijar, pelapik dan komponen proses lain

Tiub relau kuarza kami membantu mengekalkan keadaan terma dan aliran gas yang stabil, meminimumkan pencemaran zarah dan logam, dan memanjangkan hayat perkhidmatan di bawah kitaran suhu tinggi berterusan—menyokong hasil yang lebih tinggi dan kos pemilikan yang lebih rendah dalam pemprosesan haba semikonduktor.