Produk

Seceptor Wafer CVD SIC Veteksemicon adalah penyelesaian canggih untuk proses epitaxial semikonduktor, yang menawarkan kesucian ultra tinggi (≤100ppb, ICP-E10 yang disahkan) dan kestabilan termal/kimia yang luar biasa untuk pertumbuhan yang berasaskan pencemaran GAN, SIC, dan SIC. Direkayasa dengan teknologi CVD ketepatan, ia menyokong wafer 6 "/8"/12 ", memastikan tekanan haba yang minimum, dan menahan suhu yang melampau sehingga 1600 ° C.

Secceptor planet bersalut SIC kami adalah komponen teras dalam proses suhu tinggi pembuatan semikonduktor. Reka bentuknya menggabungkan substrat grafit dengan salutan karbida silikon untuk mencapai pengoptimuman komprehensif prestasi pengurusan haba, kestabilan kimia dan kekuatan mekanikal.

Plat seramik SIC kami adalah bahan seramik berliang yang diperbuat daripada karbida silikon sebagai komponen utama dan diproses oleh proses khas. Mereka adalah bahan yang sangat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor, pemendapan wap kimia (CVD) dan proses lain.

Cincin pengedap bersalut SIC kami untuk epitaxy adalah komponen pengedap berprestasi tinggi berdasarkan grafit atau komposit karbon-karbon yang dilapisi dengan silikon karbida silikon tinggi (SIC) oleh pemendapan wap kimia (CVD), yang menggabungkan kestabilan terma dengan rintangan persekitaran yang melampau, dan direka bentuk.

Kapal kuarza kesucian tinggi kami diperbuat daripada kuarza yang bersatu (kandungan SIO₂ ≥ 99.99%). Dengan rintangan yang sangat baik terhadap persekitaran yang melampau, pekali pengembangan terma yang rendah, dan kitaran hayat yang panjang, ia telah menjadi kunci yang boleh digantikan dalam industri semikonduktor dan tenaga baru.

Cincin fokus untuk etsa adalah komponen utama untuk memastikan ketepatan dan kestabilan proses. Komponen -komponen ini betul -betul dipasang di dalam ruang vakum untuk mencapai pemesinan seragam struktur nanoscale pada permukaan wafer melalui kawalan tepat pengedaran plasma, suhu tepi dan keseragaman medan elektrik.