Fokus cincin untuk etsa

Cincin etsa silikon monocrystalline adalah komponen penting dalam proses etsa semikonduktor dengan mengekalkan kestabilan persekitaran plasma, melindungi peralatan dan wafer, mengoptimumkan penggunaan sumber dan menyesuaikan diri dengan keperluan proses lanjutan. Prestasinya secara langsung memberi kesan kepada hasil dan kos pembuatan cip.

Cincin fokus teruk, elektrod dan lain -lain (pengawal suhu tepi) adalah bahan habis -habisan untuk memastikan keseragaman plasma, kawalan suhu dan pengulangan proses. Komponen -komponen ini betul -betul dipasang di ruang vakum CVD, etsa dan peralatan filem dan secara langsung menentukan ketepatan dan hasil etsa dari tepi ke pusat wafer.

Sebagai tindak balas kepada permintaan yang ketat untuk sifat-sifat bahan dalam proses pembuatan mewah, Veteksemi berinovasi dengan menggunakan silikon monocrystalline kemuliaan tinggi dengan resistiviti 10-20Ω · cm untuk mengeluarkan cincin fokus dan menyokong bahan habis. Melalui pengoptimuman kolaboratif sains bahan, reka bentuk elektrik dan termodinamik, Veteksemi dapat mengeluarkan cincin fokus dan menyokong bahan habis. Secara komprehensif melampaui penyelesaian kuarza tradisional untuk mencapai peningkatan terobosan dalam umur panjang, ketepatan dan keberkesanan kos.

Perbandingan bahan teras dan pengoptimuman resistiviti

Monocrystalline Silicon Vs. Kuarza

Produk Core Advantage

1. Ketepatan proses tahap atom

Pengoptimuman resistiviti + penggilap ultra-ketepatan (RA <0.1μm) menghapuskan pelepasan mikro dan pencemaran zarah untuk memenuhi piawaian separuh F47.

Kerugian dielektrik (TanΔ <0.001) sangat dipadankan dengan persekitaran dielektrik wafer, mengelakkan gangguan medan elektrik kelebihan dan menyokong 3D NAND 89.5 ° ± 0.3 ° etching lubang menegak.

2. Keserasian sistem pintar

Bersepadu dengan modul kawalan suhu ETC, aliran udara penyejukan diselaraskan secara dinamik oleh algoritma termokopel dan AI untuk mengimbangi hanyut terma ruang.

Sokongan rangkaian pemadanan RF yang disesuaikan, sesuai untuk mesin arus perdana seperti Amat Centura, Lam Research Kiyo dan sumber plasma ICP/CCP.

3. Keberkesanan kos yang komprehensif

Kehidupan silikon monocrystalline adalah 275% lebih lama daripada kuarza, kitaran penyelenggaraan lebih daripada 3,000 jam, dan kos pemilikan yang komprehensif (TCO) dikurangkan sebanyak 30%.

Perkhidmatan penyesuaian kecerunan rintangan (5-100Ω · cm), tepatnya sepadan dengan tetingkap proses pelanggan (seperti Gan/Sic Wide Band Gap bahan etching).

Kesan ketahanan

Syarat Komersial Produk

Kuantiti pesanan minimum	1 set
Harga	Hubungi sebut harga yang disesuaikan
Butiran pembungkusan	Pakej eksport standard
Masa penghantaran	Masa Penghantaran: 30-35 hari selepas pengesahan pesanan
Terma pembayaran	T/t
Keupayaan bekalan	600 set/bulan