Penyokong EPI

Vetek Semiconductor adalah pemimpin profesional China EPI yang dilaksanakan, Ald Planet Tugor dan pengeluar sokongan grafit bersalut TAC. dan Sokongan EPI kami adalah komponen pentingPertumbuhan epitaxialDalam proses pembuatan semikonduktor. Fungsi utamanya adalah untuk menyokong dan memanaskan wafer supaya lapisan epitaxial berkualiti tinggi boleh ditanam secara seragam di permukaan wafer.

Pengedar EPI Semikonduktor Vetek biasanya diperbuat daripada grafit kemelut tinggi dan dilapisi dengan lapisan karbida silikon (sic).Reka bentuk ini mempunyai kelebihan utama berikut:

● Kestabilan suhu tinggi: Suseptor EPI boleh kekal stabil dalam persekitaran suhu yang tinggi, memastikan pertumbuhan seragam lapisan epitaxial.

● Rintangan kakisan: Salutan SIC mempunyai rintangan kakisan yang sangat baik dan dapat menahan hakisan gas kimia, memperluaskan hayat perkhidmatan dulang.

● Kekonduksian terma: Kekonduksian terma yang tinggi bahan SIC memastikan pengagihan suhu seragam wafer semasa pemanasan, dengan itu meningkatkan kualiti lapisan epitaxial.

● Padanan pekali pengembangan terma: Pekali pengembangan terma SIC adalah serupa dengan grafit, mengelakkan masalah penumpahan salutan kerana pengembangan dan penguncupan haba.

Sifat fizikal asasCVD SIC Coating:

Kedai pengeluaran salutan cvd sic:

Gambaran Keseluruhan Rangkaian Industri Epitaxy Chip Semikonduktor: