Produk

Salutan Silikon Karbida

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.


Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting untuk pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.


Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.


Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda Nilai Biasa
Struktur Kristal Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan salutan SiC 3.21 g/cm³
Salutan SiC Kekerasan 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz Bijirin 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma 300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE) 4.5×10-6K-1

STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Blok pemotong semikonduktor sic bersalut

Blok pemotong semikonduktor sic bersalut

Vetek Semiconductor's Semiconductor Block Block SIC bersalut adalah peranti yang sangat dipercayai dan tahan lama. Ia direka untuk menahan suhu tinggi dan persekitaran kimia yang keras sambil mengekalkan prestasi yang stabil dan jangka hayat yang panjang. Dengan keupayaan prosesnya yang sangat baik, blok penyedut semikonduktor SIC bersalut mengurangkan kekerapan penggantian dan penyelenggaraan, dengan itu meningkatkan kecekapan pengeluaran. Kami mengharapkan peluang untuk bekerjasama dengan anda. Selamat datang untuk berunding pada bila -bila masa.
Grafit ultra murni lebih rendah separuh

Grafit ultra murni lebih rendah separuh

Vetek Semiconductor adalah pembekal terkemuka grafit Ultra Pure yang disesuaikan di China, yang mengkhususkan diri dalam bahan maju selama bertahun -tahun. Halfmoon grafit Ultra Pure kami direka khusus untuk peralatan epitaxial SIC, memastikan prestasi yang sangat baik. Dibuat dari grafit yang diimport ultra-tujuan, ia menawarkan kebolehpercayaan dan ketahanan. Lawati kilang kami di China untuk meneroka grafit Ultra Pure yang berkualiti tinggi kami yang lebih rendah secara langsung.
Bahagian separuh atas sic bersalut

Bahagian separuh atas sic bersalut

Vetek Semiconductor adalah pembekal terkemuka di bahagian atas separuh bahagian atas SIC yang disalut di China, yang mengkhususkan diri dalam bahan maju selama lebih dari 20 tahun. Vetek Semiconductor Upper Halfmoon Bahagian SIC bersalut secara khusus direka untuk peralatan epitaxial SIC, berfungsi sebagai komponen penting dalam ruang tindak balas. Diperbuat daripada grafit gred ultra-tujuan, semikonduktor, ia memastikan prestasi yang sangat baik. Kami menjemput anda untuk melawat kilang kami di China. Selamat datang untuk berunding pada bila -bila masa.
Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier

Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier

Vetek Semiconductor adalah pembekal pembawa epitaxy wafer silikon karbida yang disesuaikan di China. Pembawa wafer epitaxy karbida silikon ini merupakan bahagian bersalut sic penting dari bahagian separuh, rintangan suhu tinggi, rintangan pengoksidaan, rintangan haus. Kami mengalu -alukan anda untuk melawat kilang kami di China. Selamat datang untuk berunding pada bila -bila masa.
SIC Coated MOCVD Susceptor

SIC Coated MOCVD Susceptor

Secceptor MOCVD bersalut SIC Vetek adalah peranti dengan proses yang sangat baik, ketahanan dan kebolehpercayaan. Mereka dapat menahan suhu tinggi dan persekitaran kimia, mengekalkan prestasi yang stabil dan jangka hayat, dengan itu mengurangkan kekerapan penggantian dan penyelenggaraan dan meningkatkan kecekapan pengeluaran. Susceptor epitaxial MOCVD kami terkenal dengan ketumpatan yang tinggi, kebosanan yang sangat baik dan kawalan terma yang sangat baik, menjadikannya peralatan pilihan dalam persekitaran pembuatan yang keras. Tidak sabar -sabar untuk bekerjasama dengan anda. Selamat datang untuk berunding pada bila -bila masa.
SIC Coated ICP Etching Carrier

SIC Coated ICP Etching Carrier

Veteksemicon SIC Coated ICP Etching Carrier direka untuk aplikasi peralatan epitaxy yang paling menuntut. Diperbuat daripada bahan grafit ultra-tujuan yang berkualiti tinggi, pembawa etcing ICP bersalut SIC kami mempunyai permukaan yang sangat rata dan rintangan kakisan yang sangat baik untuk menahan keadaan yang keras semasa pengendalian. Kekonduksian terma yang tinggi dari pembawa bersalut SIC memastikan pengagihan haba untuk hasil etsa yang sangat baik.
Sebagai pengeluar dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus rantau anda atau ingin membeli lanjutan dan tahan lama yang dibuat di China, anda boleh meninggalkan kami mesej.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept