SIC bersalut pengendali LED dalam UV

SIC bersalut dalam UV LED Susceptor adalah komponen galas teras dalamPeralatan MOCVD (Logam Organik Kimia) Peralatan. Susceptor secara langsung mempengaruhi keseragaman, kawalan ketebalan dan kualiti bahan pertumbuhan epitaxial UV yang mendalam, terutamanya dalam pertumbuhan lapisan epitaxial aluminium nitrida (ALN) dengan kandungan aluminium yang tinggi, reka bentuk dan prestasi susceptor adalah penting.

SIC bersalut dalam UV LED Susceptor dioptimumkan khas untuk epitaxy LED UV yang mendalam, dan direka tepat berdasarkan ciri -ciri alam sekitar termal, mekanikal dan kimia untuk memenuhi keperluan proses yang ketat.

Vetek Semiconductor menggunakan teknologi pemprosesan lanjutan untuk memastikan pengagihan haba seragam pengendali dalam julat suhu operasi, mengelakkan pertumbuhan tidak seragam lapisan epitaxial yang disebabkan oleh kecerunan suhu. Kawalan pemprosesan ketepatan mengawal kekasaran permukaan, meminimumkan pencemaran zarah, dan meningkatkan kecekapan kekonduksian terma sentuhan permukaan wafer.

Vetek Semiconductor menggunakan grafit SGL sebagai bahan, dan permukaannya dirawat denganCVD SIC Coating, yang dapat menahan NH3, HCL dan suasana suhu tinggi untuk masa yang lama. SIC SIC SIC Deep UV yang disalut oleh Vetek sepadan dengan pekali pengembangan terma Aln/GaN epitaxial wafer, mengurangkan wafer warping atau retak yang disebabkan oleh tekanan terma semasa proses.

Paling penting, SIC SIC bersalut Vetek Deep UV LED Susceptor sempurna menyesuaikan diri dengan peralatan MOCVD arus perdana (termasuk Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius, dan lain -lain). Menyokong perkhidmatan tersuai untuk saiz wafer (2 ~ 8 inci), reka bentuk slot wafer, suhu proses dan keperluan lain.

Senario Aplikasi:

● Penyediaan LED UV yang mendalam: Berkenaan dengan proses peranti epitaxial dalam band di bawah 260 nm (UV-C Disinfection, Sterilization dan Fields lain).

● Nitride Semiconductor Epitaxy: Digunakan untuk penyediaan epitaxial bahan semikonduktor seperti Gallium nitride (GAN) dan aluminium nitride (ALN).

● Eksperimen epitaxial peringkat penyelidikan: Epitaxy UV Deep dan Eksperimen Pembangunan Bahan Baru di Universiti dan Institusi Penyelidikan.

Dengan sokongan pasukan teknikal yang kuat, Vetek Semiconductor dapat membangunkan speseptor dengan spesifikasi dan fungsi yang unik mengikut keperluan pelanggan, menyokong proses pengeluaran khusus, dan menyediakan perkhidmatan jangka panjang.

Data SEM filem salutan CVD sic:

Sifat Fizikal Asas Salutan CVD SIC:

Ia semikonduktorSiC bersalut dalam kedai produk pengendali UV LED: