Glassy Carbon Crucible

1. Ciri-ciri Bahan: Karbon Berkelompok Tidak Berkelompok, Prestasi melepasi bahan tradisional dalam semua aspek

Veteksemicon's Glassy Carbon Crucible mengamalkan teknologi sintering suhu tinggi maju, dan prekursor polimer diproses pada 3000 ° C dalam persekitaran gas lengai. Ia mempunyai ketumpatan kaca dan rintangan suhu tinggi seramik.Kelebihan teras termasuk:

✔ Kesucian ultra tinggi: Kandungan kekotoran adalah kurang daripada 2ppm (seperti kekotoran logam seperti aluminium dan besi), yang memenuhi keperluan bahan gred semikonduktor.

✔ Rintangan suhu yang melampau: Ia boleh digunakan dengan stabil sehingga 3000 ° C dalam vakum atau gas lengai, dan kekuatan meningkat dengan peningkatan suhu (kekuatan pada 2400 ° C adalah dua kali ganda suhu normal).

✔ Keliangan sifar dan anti-kebolehtelapan: Tidak ada liang terbuka, dan pekali kebolehtelapan gas serendah 10 ²/s, yang boleh mengelakkan pengoksidaan atau pencemaran logam cair.

✔ Kekonduksian elektrik dan terma yang sangat baik: Kekonduksian terma 6.3 w/(m · k), resistiviti 45μΩ · m, sesuai untuk proses pemanasan induksi frekuensi tinggi.

✔ Rintangan kakisan kimia: Tahan asid kuat, alkali kuat dan kakisan garam cair, tiada penumpahan zarah, memastikan kebersihan pengeluaran semikonduktor.

2. Senario aplikasi teras dalam pemprosesan semikonduktor

Produk -produk Crucible Karbon Veteksemicon meliputi pautan utama keseluruhan proses dalam pembuatan semikonduktor, biasanya termasuk:

1) Pertumbuhan silikon kristal tunggal:

Salutan penebat yang digunakan untuk relau pertumbuhan kristal SIC, meningkatkan kestabilan medan haba dan mengurangkan penggunaan tenaga sebanyak 20%.

Ciri -ciri kesucian yang tinggi mengelakkan pencemaran cair silikon dan mengurangkan kecacatan kekisi.

2) Implantasi ion dan proses etsa:

Sebagai penyebar elektrod dan gas untuk sistem etsa plasma, ia memastikan konsisten pelepasan dan proses seragam.

Ciri-ciri pengeboman Anti-on memanjangkan hayat peralatan.

3) Metalisasi dan peleburan aloi:

Bekas yang ideal untuk aloi emas, paladium dan titanium cair, permukaan tidak basah mengurangkan kehilangan bahan.

Sesuai untuk pemurnian dan pencetakan logam langka yang sangat aktif (seperti Gallium dan Indium).

Amaran: Kaca karbon crucibles tidak boleh digunakan untuk mencairkan aloi Chromium-Cobalt-Molybdenum. Begitu juga, mereka tidak boleh digunakan untuk mencairkan sebarang karbida yang mudah, seperti silikon atau tungsten.

4) Pembungkusan dan ujian lanjutan:

Sebagai pembawa pemindahan wafer (wafer dummy) dan reflektor haba, ia memastikan kestabilan proses suhu tinggi.

3. Kekuatan Pengeluaran Enterprise: Pembuatan Skala dan Inovasi Teknologi Skala Besar

Sebagai pembekal utama bahan mentah karbon kaca China, Veteksemicon mempunyai kelebihan teras berikut:

✔ Pengeluaran bebas proses penuh

Dari pempolimeran bahan mentah ke sintering suhu tinggi, keseluruhan proses dapat dikawal untuk memastikan konsistensi batch.

Kapasiti pengeluaran besar-besaran meliputi lapisan ultra-tipis 5μm ke crucibles besar (seperti diameter 132mm, spesifikasi tinggi 273mm).

✔ Keupayaan pemprosesan yang disesuaikan

Menyokong penyesuaian saiz bukan standard (seperti crucibles berbentuk khas, tiub, filem), dengan ketepatan toleransi ± 0.2mm.

✔ Rizab R & D Teknologi

Bekerjasama dengan institusi penyelidikan saintifik Akademi Sains Cina untuk membangunkan Nano Glassy Carbon (kekuatan sehingga 3GPA) dan memperluaskan penggunaan peralatan semikonduktor miniatur.

Letakkan medan baru seperti plat bipolar sel bahan bakar dan muncung ekor aeroangkasa untuk menggalakkan inovasi rentas sempadan bahan.