Berita Industri

Analisis mendalam tentang punca kekuningan tepi dan pengelupasan salutan silikon karbida pada suseptor grafit epitaksi MOCVD. VeTek menghapuskan tekanan mikro dengan mengawal kadar pemendapan CVD awal dan medan aliran dengan tepat, meningkatkan hasil salutan daripada 50% kepada 90% dan memanjangkan hayat perkhidmatan bahagian grafit ketulenan tinggi.

Menangani variasi ketebalan poket ke poket 1.4% dalam suseptor grafit epitaksi silikon berbilang poket, VeTek Semi meningkatkan kerataan susceptor kepada <0.08mm dan mengurangkan variasi kepada 0.69% melalui simulasi medan aliran CVD dan salutan SiC ketepatan ultra, meningkatkan hasil wafer.

Ketahui cara Vetek menghapuskan keretakan jejari dalam suseptor grafit bersalut MOCVD SiC bersaiz besar. Reka bentuk semula penimbal tekanan struktur & pemadanan CTE meningkatkan hayat perkhidmatan sebanyak 300%+.