Bot wafer kuarza kesucian tinggi

Bot Wafer Kuarza Ketulenan Tinggi Semikonduktor VeTek diperbuat daripada kuarza ketulenan ultra tinggi, yang mempunyai ciri-ciri kandungan hidroksil rendah, ketulenan tinggi dan rintangan suhu tinggi yang kuat. Bahan ini juga digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor sebagai bahan untuk relau resapan dan komponen relau CVD. Sebagai bekas untuk membawa wafer silikon, Wafer bot Kuarza ketulenan tinggi telah digunakan dalam bidang semikonduktor, fotovoltaik, kimia dan lain-lain.

Senario aplikasi

Pertama ialah medan semikonduktor.Proses rawatan haba wafer adalah sangat penting, termasuk pengoksidaan terma, resapan, penyepuhlindapan, dan lain-lain. Melalui proses rawatan haba, kami memberikan ciri-ciri baharu kepada wafer.

Tiub teras relau batch digunakan untuk proses pemprosesan wafer semikonduktor seperti pengoksidaan haba, penyebaran suhu tinggi, penyepuhlindapan, dan pemendapan filem nipis. Relau pemanasan batch terutamanya digunakan untuk memanaskan badan relau dengan gegelung untuk menyelesaikan rawatan haba. Menurut struktur kerja yang berbeza, tiub teras relau batch boleh dibahagikan kepada relau mendatar dan relau menegak:

(1) Bot wafer kuarza kemurnian tinggi dari relau mendatar diletakkan secara mendatar, jadi ia dipanggil relau mendatar.

Dalam proses rawatan haba, wafer dimuatkan pada Bot Wafer Kuarza Ketulenan Tinggi, perlahan-lahan dihantar ke dalam tiub relau kuarza, dan wafer diletakkan dalam zon suhu malar untuk pemprosesan. Selepas menunggu proses selesai, bot kuarza bekas Wafer ditarik perlahan-lahan keluar dari relau kuarza untuk mengelakkan wafer rosak akibat perubahan suhu yang mendadak. Relau mendatar digunakan secara meluas dalam proses resapan litar bersepadu dengan diameter wafer kurang daripada 200mm. 

Kelebihan relau mendatar adalah proses yang mudah, keseragaman yang baik antara wafer, dan keupayaan untuk memproses pelbagai wafer pada masa yang sama. Kelemahannya adalah kelajuan pemanasan yang perlahan, saiz peralatan yang besar, kesukaran dalam automasi, dan kemasukan udara luaran yang mudah apabila memuatkan dan memunggah wafer.

(2) Bot Wafer Kuarza Ketulenan Tinggi relau menegak diletakkan secara menegak, jadi ia dipanggil relau menegak.

Wafer dimuatkan pada menara kuarza dan perlahan-lahan naik ke tiub relau kuarza untuk dipanaskan. Semasa proses pemanasan, Bot Wafer Kuarza Ketulenan Tinggi akan berputar perlahan-lahan untuk memastikan wafer dipanaskan sama rata. Selepas pemprosesan, menara kuarza akan turun perlahan-lahan untuk mengelakkan perubahan suhu yang boleh menyebabkan kerosakan wafer. Relau menegak digunakan terutamanya dalam proses litar bersepadu wafer diameter 200mm dan 300mm. Teknologi teras relau menegak terletak pada kawalan medan suhu ketepatan tinggi, kawalan zarah, kawalan mikro-oksigen persekitaran mikro dan permotoran. Kelebihan relau menegak ialah lapisan oksida semula jadi yang nipis, keseragaman yang baik, automasi yang lebih mudah, jejak peralatan kecil, dan pemprosesan kelompok. Kelemahannya ialah kelajuan pemanasan adalah perlahan.

Dalam bidang fotovoltaik, proses pengeluaran sel fotovoltaik memerlukan bot kuarza untuk membawa dan mengangkut wafer silikon dalam proses resapan suhu tinggi. Rawatan suhu tinggi dalam nitrogen ketulenan tinggi, oksigen atau atmosfera gas lengai lain, seperti resapan fosforus atau resapan boron, merupakan langkah penting dalam proses pembuatan sel suria. Tujuannya adalah untuk membentuk simpang PN pada wafer silikon.

Bot kuarza mempunyai slot yang direka dengan tepat di dalam untuk memastikan wafer silikon mengekalkan kedudukan yang tepat semasa proses resapan suhu tinggi dan dipanaskan secara sekata. Oleh kerana bahan kuarza mempunyai rintangan suhu tinggi dan kestabilan kimia yang baik, ia tidak akan mencemarkan wafer silikon, yang kondusif untuk mengekalkan kebersihan persekitaran pengeluaran yang tinggi.

Sebagai inovator dan peneraju dalam pasaran bot kuarza Wafer China, sama ada anda terlibat dalam industri semikonduktor atau industri fotovoltaik, selagi anda memerlukan Bot Wafer Kuarza ketulenan tinggi, sila tanya kami untuk mendapatkan sebut harga dan kami akan dapat menyesuaikan ia untuk anda mengikut keperluan anda.

Ia semikonduktor Kedai Produk: