Produk
CMP menggilap buburan
  • CMP menggilap buburanCMP menggilap buburan

CMP menggilap buburan

Slurry penggilap CMP (buburan penggilap mekanikal kimia) adalah bahan berprestasi tinggi yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor dan pemprosesan bahan ketepatan. Fungsi terasnya adalah untuk mencapai kebosanan halus dan penggilap permukaan bahan di bawah kesan sinergistik kakisan kimia dan pengisaran mekanikal untuk memenuhi keperluan kualiti dan permukaan permukaan di peringkat nano. Nantikan perundingan lanjut anda.

Slurry penggilap CMP Veteksemicon digunakan terutamanya sebagai penggilap kasar dalam buburan penggilap mekanikal kimia CMP untuk planarizing bahan semikonduktor. Ia mempunyai kelebihan berikut:

Ijazah persatuan diameter dan zarah zarah boleh dikawal secara bebas;
Zarah -zarahnya monodispersed dan pengedaran saiz zarah adalah seragam;
Sistem penyebaran stabil;
Skala pengeluaran besar -besaran adalah besar dan perbezaan antara kelompok adalah kecil;
Ia tidak mudah untuk memadamkan dan menyelesaikannya.


Petunjuk prestasi untuk produk siri kesucian ultra tinggi

Parameter
Unit
Petunjuk prestasi untuk produk siri kesucian ultra tinggi

Uskup
Uskup2
Uskup3
Uskup4
Uskup-5
Uskup6
Uskup7
Saiz zarah silika purata
nm
35 ± 5
45 ± 5
65 ± 5
75 ± 5
85 ± 5
100 ± 5
120 ± 5
Pengagihan saiz nanopartikel (PDI)
1 <0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
<0.15
Penyelesaian pH
1 7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
Kandungan pepejal
% 20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
20.5 ± 0.5
Penampilan
-
Biru muda
Biru
Putih
Off-white
Off-white
Off-white
Off-white
Morfologi zarah x
X: s- pherical ; b- melengkung ; p- berbentuk kacang ; t-bulbous ; c- rantaian seperti (keadaan agregat)
Menstabilkan ion
Amina organik / bukan organik
Komposisi bahan mentah y
Dan: m-tmos ; e-you ; me-tamos+teos ; em-ezos+tmos
Kandungan kekotoran logam
≤ 300ppb


Aplikasi produk buburan CMP menggilap:


● Bahan ILD litar bersepadu cmp

● Bahan Poly-Si Litar Bersepadu CMP

● Semikonduktor Single Silicon Wafer Bahan CMP

● Bahan silikon karbida silikon semikonduktor cmp

● Bahan STI litar bersepadu cmp

● Bahan lapisan logam dan logam litar bersepadu cmp


Teg Panas: CMP menggilap buburan
Hantar Pertanyaan
Maklumat Hubungan
Untuk pertanyaan mengenai Salutan Silikon Karbida, Salutan Tantalum Karbida, Grafit Khas atau senarai harga, sila tinggalkan e-mel anda kepada kami dan kami akan berhubung dalam masa 24 jam.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept