Pembawa Wafer Salutan SiC

Vetek Semiconductor mengkhusus dalam pembuatan dan membekalkan pembawa wafer salutan SiC berprestasi tinggi dan komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk termaju kepada industri semikonduktor.

Dalam pembuatan semikonduktor, pembawa wafer salutan SiC Vetek Semiconductor ialah komponen utama dalam peralatan pemendapan wap kimia (CVD), terutamanya dalam peralatan pemendapan wap kimia organik logam (MOCVD). Tugas utamanya adalah untuk menyokong dan memanaskan substrat kristal tunggal supaya lapisan epitaxial dapat tumbuh secara seragam. Ini penting untuk mengeluarkan peranti semikonduktor berkualiti tinggi.

Rintangan kakisan salutan SiC adalah sangat baik, yang boleh melindungi asas grafit secara berkesan daripada gas menghakis. Ini amat penting dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis. Di samping itu, kekonduksian haba bahan SiC juga sangat baik, yang boleh mengalirkan haba secara sama rata dan memastikan pengagihan suhu seragam, dengan itu meningkatkan kualiti pertumbuhan bahan epitaxial.

Salutan SiC mengekalkan kestabilan kimia dalam suhu tinggi dan suasana menghakis, mengelakkan masalah kegagalan salutan. Lebih penting lagi, pekali pengembangan haba SiC adalah serupa dengan grafit, yang boleh mengelakkan masalah penumpahan salutan akibat pengembangan dan penguncupan haba, dan memastikan kestabilan dan kebolehpercayaan salutan jangka panjang.

Sifat fizikal asas bagiPembawa Wafer Salutan SiC:

Kedai Pengeluaran:

Gambaran keseluruhan rantaian industri epitaksi cip semikonduktor: