Berita Industri

Salutan Tantalum Carbide (TAC) digunakan secara meluas dalam medan semikonduktor, terutamanya untuk komponen reaktor pertumbuhan epitaxial, komponen utama pertumbuhan kristal, komponen perindustrian suhu tinggi, pemanas sistem mocvd dan pembawa wafer.

Semasa proses pertumbuhan epitaxial SiC, kegagalan penggantungan grafit bersalut SiC mungkin berlaku. Kertas kerja ini menjalankan analisis yang teliti tentang fenomena kegagalan penggantungan grafit bersalut SiC, yang terutamanya merangkumi dua faktor: kegagalan gas epitaxial SiC dan kegagalan salutan SiC.

Artikel ini terutamanya membincangkan kelebihan proses masing-masing dan perbezaan proses epitaxy rasuk molekul dan teknologi pemendapan wap kimia logam-organik.

VeTek Semiconductor's Porous Tantalum Carbide, sebagai generasi baharu bahan pertumbuhan kristal SiC, mempunyai banyak sifat produk yang sangat baik dan memainkan peranan penting dalam pelbagai teknologi pemprosesan semikonduktor.

Prinsip kerja relau epitaxial adalah untuk mendepositkan bahan semikonduktor pada substrat di bawah suhu tinggi dan tekanan tinggi. Pertumbuhan epitaxial silikon adalah untuk menumbuhkan lapisan kristal dengan orientasi kristal yang sama dengan substrat dan ketebalan yang berbeza pada substrat kristal tunggal silikon dengan orientasi kristal tertentu. Artikel ini terutamanya memperkenalkan kaedah pertumbuhan epitaxial silikon: epitaksi fasa wap dan epitaksi fasa cecair.

Pemendapan wap kimia (CVD) dalam pembuatan semikonduktor digunakan untuk mendepositkan bahan -bahan filem nipis di dalam ruang, termasuk SiO2, dosa, dan lain -lain, dan jenis yang biasa digunakan termasuk PECVD dan LPCVD. Dengan menyesuaikan jenis gas, tekanan dan gas reaksi, CVD mencapai kesucian, keseragaman dan liputan filem yang baik untuk memenuhi keperluan proses yang berbeza.