Penyejatan rasuk elektron adalah kaedah salutan yang sangat cekap dan digunakan secara meluas berbanding dengan pemanasan rintangan, yang memanaskan bahan penyejatan dengan rasuk elektron, menyebabkan ia mengewap dan terpeluwap menjadi filem nipis.
Salutan vakum termasuk pengewapan bahan filem, pengangkutan vakum dan pertumbuhan filem nipis. Menurut kaedah pengewapan bahan dan proses pengangkutan bahan yang berbeza, salutan vakum boleh dibahagikan kepada dua kategori: PVD dan CVD.
Artikel ini menerangkan parameter fizikal dan ciri -ciri produk grafit poros Vetek semikonduktor, serta aplikasi khususnya dalam pemprosesan semikonduktor.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy