Berita Industri

Memperkenalkan CO₂ ke dalam air dicing semasa pemotongan wafer adalah langkah proses yang berkesan untuk menindas pembentukan caj statik dan risiko pencemaran yang lebih rendah, dengan itu meningkatkan hasil dicing dan kebolehpercayaan cip jangka panjang.

Wafer silikon adalah asas litar bersepadu dan peranti semikonduktor. Mereka mempunyai ciri yang menarik - tepi rata atau alur kecil di sisi. Ia bukan kecacatan, tetapi penanda fungsional yang sengaja direka. Pada fakta, kedudukan ini berfungsi sebagai rujukan arah dan penanda identiti sepanjang proses pembuatan keseluruhan.

Penggilap mekanikal kimia (CMP) menghilangkan kecacatan bahan dan permukaan yang berlebihan melalui tindakan gabungan tindak balas kimia dan lelasan mekanikal. Ini adalah proses utama untuk mencapai planarization global permukaan wafer dan sangat diperlukan untuk interkoneksi tembaga multilayer dan struktur dielektrik rendah. Dalam pembuatan praktikal