Perkhidmatan Pembersihan Bahagian Grafit Salutan CVD SiC

1. Cabaran Yang Mungkin Anda Hadapi

• Lapisan AlN Sukar untuk Dialih Keluar:Pembersihan terma 1300°C masih tidak dapat menggores lapisan AlN dengan berkesan.

• Kesan Memori Berulang:Kesan ingatan permukaan menyebabkan aliran gas tidak stabil dalam reaktor, menjejaskan konsistensi proses.

• Kesan Kitaran Pembersihants Throughput:Biasanya setiap 16 kitaran proses (4–5 susceptor) memerlukan pembersihan luaran.

• Kebimbangan Mengenai Merosakkan Salutan Mahal:Kekurangan pengalaman pembersihan kimia dalaman membuatkan pengendali teragak-agak untuk mencuba pembersihan yang agresif.

2. Penyelesaian Kami – Direka untuk Proses GaN / AlN / AlGaN

• Pembersihan Profesional:Proses tersuai dibangunkan khusus untuk bahagian grafit bersalut CVD SiC. Tiada formula kimia diperlukan daripada pelanggan.

• Keselamatan Salutan:Melindungi salutan SiC CVD 100 µm dengan ketat. Kehilangan ketebalan sifar mutlak selepas pembersihan.

• Keputusan Boleh Disahkan:Sijil Analisis Penuh (COA) meliputi lima dimensi teras. Data sedia untuk arkib dan audit kualiti.

3. Lima Kriteria Penerimaan Teras

Selaras dengan keperluan kritikal pengguna epitaksi semikonduktor:

1. Kehilangan Salutan Sifar– Ketebalan salutan SiC tidak pernah dikurangkan selepas pembersihan (pengesahan perbandingan ketebalan sebelum/selepas).

2. Tiada Ubah Bentuk Permukaan– Kerataan dan ketepatan geometri diperiksa dengan ketat untuk memastikan tiada ubah bentuk fizikal.

3. Menghapuskan Kesan Ingatan– Analisis XPS untuk sisa Al/Ga mengesahkan penyingkiran menyeluruh sumber kesan ingatan.

4. Sisa Logam Sifar– Ujian ICP-MS untuk Fe, Cu, Ni dan logam lain mengesahkan kekotoran logam sisa sifar.

5. Tiada Zarah Berlebihan– Ujian zarah QIII ditambah pengesahan kebersihan menghalang ketidakstabilan aliran gas yang disebabkan oleh zarah sisa.

4. Pemeriksaan Penghantaran & Laporan COA

Setiap kelompok dihantar dengan data pengesahan penuh merentas lima dimensi teras:

5. Produk & Latar Belakang Proses Berkenaan

Parameter Produk

Proses Perkhidmatan

1. Siasatan– Hantar gambar bahagian / model / kuantiti untuk penilaian.

2. Sebutharga– Penilaian teknikal dan cadangan pembersihan terperinci dengan sebut harga.

3. Penghantaran– Hantar alat ganti kepada kami atau aturkan perkhidmatan pengambilan.

4. Pembersihan– Pembersihan profesional + pemeriksaan pelbagai dimensi penuh.

5. Laporan– Laporan COA dikeluarkan dan bahagian yang dibersihkan dipulangkan.

6. Tindakan susulan– Penjejakan kesan dan sokongan teknikal yang berterusan.

6. Mengapa Memilih Perkhidmatan Pembersihan VETEK?

VETEK menggabungkan kepakaran mendalam dalam teknologi salutan CVD SiC dengan keupayaan pembersihan khusus untuk suseptor grafit bernilai tinggi. Kami memahami kepentingan kritikal integriti salutan, kawalan zarah dan ketulenan proses dalam epitaksi GaN/AlN. Perkhidmatan kami direka untuk pelanggan yang memerlukan keselamatan mutlak untuk salutan SiC CVD yang mahal sambil menyelesaikan sepenuhnya kesan memori dan isu ketidakstabilan aliran gas.

· Pembersihan percubaan tersedia untuk pengesahan kumpulan kecil

· Laporan COA penuh disediakan dengan setiap penghantaran

· Sifar risiko kerosakan salutan atau pencemaran baru

· Profesional · Selamat · Boleh disahkan