Susceptor Grafit Bersalut CVD SiC untuk Pembawa Wafer

1. Kelebihan Produk

• Bahan Ketulenan Tinggi:Bahan grafit gred semikonduktor dan struktur salutan SiC padat meminimumkan risiko pencemaran dan meningkatkan kebolehpercayaan susceptor grafit bersalut CVD SiC.
• Keseragaman Terma Cemerlang:Struktur grafit yang dioptimumkan dan salutan SiC memberikan pemindahan haba yang stabil dan kawalan suhu wafer yang seragam.
• Rintangan Kimia Unggul:Salutan SiC yang padat menawarkan rintangan yang kuat terhadap gas proses dan persekitaran yang menghakis.
• Hayat Perkhidmatan Panjang:Kekerasan tinggi dan rintangan haus meningkatkan ketahanan dalam keadaan epitaksi suhu tinggi.
• Penjanaan Zarah Rendah:Permukaan SiC CVD yang padat mengurangkan pelepasan zarah dan meningkatkan kebolehpercayaan proses wafer.
• Keupayaan Reka Bentuk Tersuai:Tersedia dalam pelbagai saiz, struktur dan konfigurasi mengikut keperluan peralatan.

2. Spesifikasi Teknikal

3. Aplikasi

• Proses Epitaksi SiC:Susceptor grafit digunakan sebagai pembawa wafer dalam peralatan epitaksi SiC, menyokong substrat SiC semasa pertumbuhan epitaxial suhu tinggi.
• Proses Epitaksi Silikon:Digunakan dalam reaktor epitaxial silikon untuk menyokong wafer dan mengekalkan keadaan terma yang stabil.
• Epitaksi MOCVD:Suseptor grafit VETEK sesuai untuk MOCVD, epitaksi LED, epitaksi GaN, epitaksi silikon, dan proses pembuatan semikonduktor lain yang memerlukan keseragaman haba dan kestabilan kimia yang sangat baik.
• Peralatan Pembuatan Semikonduktor:Serasi dengan pelbagai platform epitaksi, termasuk relau mendatar LPE, Aixtron, NuFlare dan peralatan semikonduktor yang berkaitan.

4. Mengapa Memilih VETEK?

VETEK menyediakan penyelesaian susceptor grafit bersalut CVD SiC tersuai yang menyepadukan penulenan grafit, pemesinan ketepatan, salutan CVD dan keupayaan pemeriksaan. Produk susceptor grafit gred semikonduktor kami menampilkan ketulenan tinggi, ketebalan salutan seragam, prestasi terma yang cemerlang dan hayat perkhidmatan yang panjang untuk aplikasi pembawa wafer yang menuntut.