Sic Salceptor Planet

SIC bersalut Planet Susceptor adalah pembawa planet yang dilapisi dengankarbida silikon (sic), yang kebanyakannya digunakan dalam proses pemendapan bahan semikonduktor seperti pemendapan wap kimia logam-organik (MOCVD), epitaxy rasuk molekul (MBE), dan lain-lain. Fungsi utamanya adalah untuk membawa dan memutar wafer untuk memastikan keseragaman material dan konsistensi medan terma semasa pemendapan, dan salutan SIC menyediakan pembawa dengan rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan, dan kekonduksian terma untuk semikonduktor ketepatan tinggiwaferpemprosesan.

Senario aplikasi teras untuk SIC Salceptor Planet

Proses pertumbuhan epitaxial MOCVD

Dalam proses MOCVD, SIC bersalut SIC Planet Planets digunakan untuk membawa wafer silikon (SI), silikon karbida (SIC), gallium nitride (GaN), Gallium arsenide (GaAs) dan bahan -bahan lain.

● Keperluan fungsional: Kedudukan yang tepat dan putaran wafer yang disegerakkan untuk memastikan pengagihan seragam bahan-bahan yang disembur wap pada permukaan wafer dan meningkatkan keseragaman ketebalan dan komposisi filem.

● Kelebihan: SIC Coatings sangat tahan kakisan dan dapat menahan hakisan prekursor logam-organik yang sangat reaktif seperti trimethylgallium (TMGA) dan trimethylindium (TMIN), memanjangkan hayat perkhidmatan mereka.

Pembuatan Peranti Kuasa Silicon Carbide (SIC)

SIC SICED PLANETER SUSCEPTOR digunakan secara meluas dalam pertumbuhan epitaxial peranti kuasa SIC, seperti MOSFET, IGBT, SBD dan peranti lain.

● Keperluan fungsional: Menyediakan platform penyamaan haba yang stabil dalam persekitaran suhu tinggi untuk memastikan kualiti penghabluran lapisan epitaxial dan kawalan kecacatan.

● Kelebihan: Salutan SIC tahan terhadap suhu tinggi (> 1600 ° C) dan mempunyai pekali pengembangan haba (4.0 × 10^-6 k^-1) dekat dengan wafer karbida silikon, yang berkesan mengurangkan tekanan terma dan meningkatkan kualiti dan kestabilan lapisan epitaks.

Ultraviolet Deep (DUV) dan Ultraviolet LED Epitaxial Manufacturing

Secceptor planet bersalut SIC sesuai untuk pertumbuhan epitaxial bahan-bahan seperti Gallium nitride (GAN) dan aluminium galium nitride (ALGAN), dan digunakan secara meluas dalam pembuatan LED UV dan LED mikro.

● Keperluan fungsional: Mengekalkan kawalan suhu yang tepat dan pengagihan aliran udara seragam untuk memastikan ketepatan panjang gelombang dan prestasi peranti.

● Kelebihan: Kekonduksian terma dan rintangan pengoksidaan yang tinggi membolehkan kestabilan yang sangat baik pada suhu tinggi dalam tempoh operasi yang panjang, membantu meningkatkan kecekapan bercahaya dan konsistensi cip LED.

Pilih Vekemicon

Veteksemicon SIC Susceptor Planet yang bersalut telah menunjukkan kelebihan yang tidak dapat ditukar dalam suhu tinggi, persekitaran pembuatan semikonduktor yang menghakis melalui sifat bahan yang unik dan reka bentuk mekanikal. Dan produk pemotong planet utama kami adalah SIC Salceptor Planety Sic,SUSCEPTOR PLANETER ALD, Salutan TAC Salceptor PlanetDan sebagainya. Pada masa yang sama, Veteksemicon komited untuk menyediakan produk dan perkhidmatan teknikal yang disesuaikan kepada industri semikonduktor. Kami sangat berharap dapat menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.