Berita Industri

Silicon Carbide (SIC) Relau pertumbuhan kristal memainkan peranan penting dalam menghasilkan wafer sic berprestasi tinggi untuk peranti semikonduktor generasi akan datang. Walau bagaimanapun, proses peningkatan kristal SIC berkualiti tinggi memberikan cabaran yang signifikan. Dari menguruskan kecerunan terma yang melampau untuk mengurangkan kecacatan kristal, memastikan pertumbuhan seragam, dan mengawal kos pengeluaran, setiap langkah memerlukan penyelesaian kejuruteraan lanjutan. Artikel ini akan menganalisis cabaran teknikal relau pertumbuhan kristal SIC dari pelbagai perspektif.

Potong Smart adalah proses pembuatan semikonduktor canggih berdasarkan implantasi ion dan pelucutan wafer, yang direka khusus untuk pengeluaran wafer 3C-SIC (Cubic Silicon Carbide) yang sangat seragam dan sangat seragam. Ia boleh memindahkan bahan-bahan kristal ultra-nipis dari satu substrat ke yang lain, dengan itu memecahkan batasan fizikal asal dan mengubah keseluruhan industri substrat.

Dalam penyediaan substrat karbida silikon berkualiti tinggi dan tinggi, teras memerlukan kawalan tepat suhu pengeluaran oleh bahan medan terma yang baik. Pada masa ini, kit crucible medan haba yang digunakan terutamanya adalah komponen struktur grafit yang tinggi, yang fungsinya adalah untuk memanaskan serbuk karbon cair dan serbuk silikon serta mengekalkan haba.

Apabila anda melihat semikonduktor generasi ketiga, anda pasti akan tertanya-tanya apa generasi pertama dan kedua. "Generasi" di sini diklasifikasikan berdasarkan bahan yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor.

The Electrostatic Chuck (ESC), yang juga dikenali sebagai Electrostatic Chuck (ESC, E-Chuck), adalah perlawanan yang menggunakan prinsip penjerapan elektrostatik untuk memegang dan menetapkan bahan yang terserap. Ia sesuai untuk persekitaran vakum dan plasma.

Pembawa wafer sic, sebagai bahan habis-habisan utama dalam rantaian industri semikonduktor generasi ketiga, ciri-ciri teknikal mereka secara langsung mempengaruhi hasil pertumbuhan epitaxial dan pembuatan peranti. Dengan permintaan yang melonjak untuk peranti voltan tinggi dan suhu tinggi dalam industri seperti stesen asas 5G dan kenderaan tenaga baru, penyelidikan dan penerapan pembawa wafer SIC kini menghadapi peluang pembangunan yang signifikan.