Wafer Piezoelektrik PZT (PZT pada Si/SOI)

1. Seni Bina Teknikal

Wafer kami menampilkan struktur tindanan berbilang lapisan yang canggih yang direka untuk memastikan lekatan, kekonduksian dan tindak balas piezoelektrik yang optimum semasa pemprosesan MEMS yang kompleks:

 ●Elektrod Atas (Lapisan Kekunci): Pt (Platinum).

● Lapisan Piezo (Lapisan Teras): PZT.

● Lapisan Perantaraan: Termasuk Lapisan Penampan, Elektrod Bawah dan Lapisan Lekatan untuk mengoptimumkan orientasi butiran dan kestabilan struktur.

● Substrat: Serasi dengan wafer Si atau SOI.

2. Jaminan Kualiti & Analisis Struktur Mikro

Kami memastikan kebolehpercayaan yang tinggi melalui pencirian teknikal yang ketat:

 ●Analisis SEM: Mengimbas imej Electron Microscopy (SEM) mendedahkan morfologi permukaan yang padat dan bebas retak dengan taburan saiz butiran yang seragam, sesuai untuk aplikasi MEMS kebolehpercayaan tinggi.

 ●Pencirian XRD: Corak X-Ray Difraction (XRD) mengesahkan pembentukan fasa perovskit tulen dengan orientasi pilihan yang kuat (100), memastikan pekali prestasi piezoelektrik yang maksimum.

3. Spesifikasi Teknikal (Ciri-ciri)

4. Aplikasi Teras

 ● Pemindah Ultrasonik Mesin Mikro Piezoelektrik (pMUT): Tatasusunan kecil frekuensi tinggi untuk penderia cap jari, pengecaman gerak isyarat dan radar ultrasonik automotif.

 ● Komunikasi: Kunci untuk mengeluarkan penapis FBAR atau SAW dalam 5G/6G untuk mencapai lebar jalur yang lebih luas dan kehilangan sisipan yang lebih rendah.

 ● MEMS Akustik: Menyediakan tindak balas sementara yang kuat untuk pembesar suara MEMS dan meningkatkan Nisbah Isyarat-ke-Bunyi (SNR) untuk mikrofon MEMS.

 ● Kawalan Cecair Ketepatan: Getaran berkelajuan tinggi melalui mod d31 untuk kawalan jitu skala nanoliter bagi volum titisan dalam kepala cetak pancut dakwat.

 ● Perubatan & Kecantikan (pengepam mikro): Memandu nebulizer perubatan atau pam ultrasonik kosmetik dengan kebolehpercayaan yang tinggi dan saiz yang padat.

5. Perkhidmatan Penyesuaian

Selain pemendapan standard pada wafer Si, kami juga menyediakan perkhidmatan pemendapan tersuai:

 ●Penyesuaian Filem & Ketebalan: Pemendapan jenis filem tertentu dan ketebalan tersuai mengikut keperluan reka bentuk.

 ●Faundri OEM: Penerimaan wafer yang dibekalkan daripada pelanggan untuk pertumbuhan filem nipis piezoelektrik berkualiti tinggi.

 ●Sokongan Substrat SOI: Pemendapan khusus pada wafer SOI dengan spesifikasi berikut: