Berita

Artikel ini terutamanya menerangkan prospek aplikasi luas seramik silikon karbida. Ia juga memberi tumpuan kepada analisis punca keretakan pensinteran dalam seramik silikon karbida dan penyelesaian yang sepadan.

Teknologi etsa dalam pembuatan semikonduktor sering menghadapi masalah seperti kesan pemuatan, kesan alur mikro dan kesan pengecasan, yang menjejaskan kualiti produk. Penyelesaian penambahbaikan termasuk mengoptimumkan ketumpatan plasma, melaraskan komposisi gas tindak balas, meningkatkan kecekapan sistem vakum, mereka bentuk susun atur litografi yang munasabah, dan memilih bahan topeng goresan yang sesuai dan keadaan proses.

Sintering menekan panas adalah kaedah utama untuk menyediakan seramik SIC berprestasi tinggi. Proses sintering menekan panas termasuk: memilih serbuk SIC yang tinggi, menekan dan mencetak di bawah suhu tinggi dan tekanan tinggi, dan kemudian sintering. Seramik SIC yang disediakan oleh kaedah ini mempunyai kelebihan kesucian yang tinggi dan ketumpatan tinggi, dan digunakan secara meluas dalam cakera pengisaran dan peralatan rawatan haba untuk pemprosesan wafer.