Berita Industri

Plat seramik SIC adalah salah satu bahan teras dalam bidang pembuatan semikonduktor. Dengan struktur yang unik dan sifat fizikal yang sangat baik, cakera seramik SIC berpori telah menjadi komponen utama yang tidak dapat digantikan dalam persekitaran yang tinggi dan persekitaran yang menghakis. Dalam artikel ini, kami akan menganalisis sifat fizikalnya, senario aplikasi dan kelebihan pemilihannya.

Bot Quartz adalah komponen beban utama yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Ia digunakan terutamanya untuk pemprosesan suhu tinggi wafer, seperti penyebaran, pengoksidaan dan penyepuhlindapan. Kestabilan terma yang sangat baik, ciri -ciri pencemaran yang rendah dan rintangan kakisan menjadikannya bahan yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor. Artikel ini akan menghuraikan bahan, sifat fizikal, klasifikasi, senario aplikasi bot kuarza dan perbezaannya dari bot grafit PECVD.

Bahan teras bot grafit PECVD adalah bahan grafit isotropik yang tinggi (kesucian biasanya ≥99.999%), yang mempunyai kekonduksian elektrik yang sangat baik, kekonduksian terma dan ketumpatan. Berbanding dengan bot grafit biasa, bot grafit PECVD mempunyai banyak kelebihan harta fizikal dan kimia dan digunakan terutamanya dalam industri semikonduktor dan fotovoltaik, terutamanya dalam proses PECVD dan CVD.